半导体物理试验-微电子试验教学中心-西安电子科技大学.docVIP

《半导体物理实验》教学大纲 课程编号：MI4221016 课程名称：半导体物理实验 英文名称：Experiments of Semiconductor Physics 学时： 学分： 课程类别：限选 课程性质：专业课 适用专业：集成电路与系统集成 先修课程：半导体物理和半导体器件电子学 开课学期： 开课院系：微电子学院 一、课程的教学目标与任务 目标：培养学生独立完成半导体材料特性测试、分析的实践动手能力，巩固和强化半导体物理知识，提升学生在微电子技术领域的竞争力，培养学生灵活运用理论知识解决实际问题的能力，锻炼学生分析、探讨和总结实验结果的能力。 任务：在理论课程的学习基础上，通过大量实验，熟练掌握现代微电子技术中半导体材料特性相关的实验手段和测试技术。课程以教师讲解，学生实际动手操作以及师生讨论的形式实施。 二、本课程与其它课程的联系和分工 本实验要求学生掌握测试技术和分析手段，共设置个实验。 （一）高频光电导衰退法测量非平衡少子寿命学时 具体内