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扫描隧道显微镜实验 07300300094 材料科学系 李旭晏 摘要：本实验运用NanoFirst-1000型扫描隧道显微镜来观察一维及二维光栅样品，并探讨各 参数即积分增益、比例增益和扫描角度对扫描图像的影响。 关键词：隧道效应 扫描隧道显微镜 针尖制备 一维光栅 二维光栅 积分增益 比例增益 扫描角度 实验原理 隧道效应 扫描隧道显微镜的原理就是基于量子力学中的隧道效应。在经典物理中，当粒子的能量E小于前方势垒的高度V时，它是不可能穿越此势垒的，即透射系数为零。但在量子力学的计算中，透射系数并不等于零，如图1。也就是说，粒子可以穿过比它能量更高的势垒，这一现象就称为隧道效应。 其中，透射系数为： 式中，E为粒子能量，V0为势垒高度，a为势垒宽度，m为粒子质量。 可见，随着势垒宽度a的增加，透射系数T是成指数衰减的。这也就是宏观实验中为何观察不到隧道效应的原因。而随着a的减小，透射系数T将会急剧增大，直到我们可以观察到隧道效应。而扫描隧道显微镜正是应用了这一点。若将针尖与样品表面作为两个电极，那么当它们之间的距离足够小（通常小于1nm）时，在外加电场的作用下，电子就会穿过两个电极之间的势垒，流向另一个电极。穿越势垒的电子的定向移动就形成了所谓的隧道电流。 隧道电流的大小为： 式中， Vb为加在针尖与样品之间的偏置电压，S为针尖与样品表面之间的距离，Φ为针尖与样品的平均功函数，A为一常系数，在真空条件下，A=1。 由上式可知，隧道电流I与针尖与样品表面之间的距离S是一一对应的。通过隧道电流I的变化，便可以得出样品表面高低起伏的形貌信息。如果同时对X、Y方向进行扫描，就可以直接得到三维的样品表面形貌图。这就是STM工作的基本原理。 STM工作模式 STM共有两种工作模式，即恒高模式和恒流模式。 恒高模式，顾名思义，就是高度恒定，即针尖和样品的高度始终保持不变。示意图如图2.随着样品表面的高低起伏，隧道电流的大小也将相应变化。通过记录隧道电流的变化便可以得到样品的表面形貌信息。 但恒高模式存在较大的弊端。由于针尖和样品的高度都是固定的，如果样品表面起伏过大，很容易撞针。 恒流模式就克服了这一缺点。恒流模式下，隧道电流的大小是恒定的。根据上述公式可知，要保证隧道电流的大小恒定，就要使得针尖与样品表面之间的距离恒定。若先给隧道电流设一个初始的恒定值，当样品表面有起伏时，瞬时隧道电流就会相应减小或者变大，与设定的初始值就会有一定的误差。控制系统通过这一差值来计算相应的针尖应该调整的高度以保证隧道电流恒定，然后反馈到控制器上，从而控制针尖高度的变化。如果将针尖在样品表面扫描时的运动轨迹在显示器上显示出来，也就得到了样品表面的形貌图。示意图如图3。 而具体的控制过程是用由压电陶瓷材料制成的三维扫描控制器实现的。所谓的压电现象是指，某种类型的晶体在受到机械力发生形变时会产生电场，或给晶体加一电场时晶体会产生物理形变的现象。许多化合物的单晶都具有压电性质，但目前广泛采用的是多晶陶瓷材料，它能将电压信号转换成纳米级的位移，从而满足我们实验的高精度要求。 目前，STM常用的是单管扫描器。图4为扫描器的截面图。陶瓷管内壁为一整体电极，外部的电极被分为面积相等的四部分，在其中任一部分电极上施加电压，这一部分就会伸长或者收缩。若在相对的两部分电极上施加相反的电压，便会使管壁一侧膨胀，另一侧收缩，从而导致陶瓷管向垂直于管轴的方向弯曲，如图5。通过在两组相对的电极上都施加电压就可以实现在陶瓷管在X、Y方向的相互垂直移动，从而实现在一定范围内对样品的扫描。 控制器对针尖高度的控制是由Z 轴方向实现的。在陶瓷管内壁电极施加电压，就会使陶瓷管整体实现伸长或缩短，从而控制针尖高度的变化，如图6。 图7便为扫描主体部分的示意图。当然，这里的示意图显示的是压电陶瓷与针尖相连，控制针尖的运动轨迹。同理，也可以保持针尖高度不变，通过三维扫描控制器控制样品的运动轨迹得出样品表面形貌图。 具体本实验中使用的是恒流模式，且压电陶瓷扫描管装在样品下方，即控制样品的运动轨迹。 实验内容 针尖的制备 针尖是STM技术中应首要解决的问题之一。针尖的大小、形状和化学同一性对实验影响很大。如果能够制备出尖端只有一个稳定的原子的针尖，那么隧道电流就会很稳定，而且能够获得原子级分辨率的图像。否则，就会出现所谓的多针尖效应，严重影响扫描图像的质量。 目前，针尖制备中常用的方法主要有两种，即机械成型法和电化学腐蚀法。 用铂铱丝制备针尖时常用机械成型法，操作方法非常简单。左手持钳子夹紧铂铱丝，使其露出几毫米的长度，右手持剪刀，并使刀口与铂铱丝成一个很小的角度。缓缓合上剪刀，但感觉到刀口刚好要碰到铂铱丝时，一边向下拉钳子，一边合上剪刀，便可以剪出一个很细的尖端。制得的针尖如图8所示。由