- 1、本文档共4页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
复合多晶硅栅ldmos的特性研究 study on characteristics of a dual-material gate ldmos
器件制造与应团
ofDevit七
^d缸Ⅱl】鼬曲埘雄andApplitmitm
复合多晶硅栅LDMOS的特性研究
洪琪,陈军宁,柯导明,刘磊,高珊,刘琦
(安徽大学电子科学与技术学院,合肥230039)
工艺实现方法。此结构采用了栅工程的概念,所设计的栅电极由S.栅和D.栅两块电极并列组成,
其中,S一栅采用功函数较高的P+多晶硅;D.栅采用功函数较低的n+多晶硅。MEDICI对n沟道
而增加器件的跨导值,并且该结构在提高器件击穿电压的同时还能提高器件的截止频率。
关键词:复合栅;截止频率;功函数;横向扩散金属氧化物;栅源电容;栅漏电容
文献标识码:A
中图分类号:TN386.1 文章编号:1003.353X(2008)03.0227.04
onCharacteristicsofaDual-MaterialGateLDMOS
Study
Lei,GaoShan,Liu
HongQi,ChenJunning,KeDaoming,Liu Qi
ElectronicScienceand
(School
of Technology,AnhuiUniver碗y,凰卿230039,China)
novel forRFfieldwas
Abstract:ADMG-LDMOS(dual-material
gate,LDMOS)structureplq)08ed
theconcreterealizationmethodin oftheDMG-LDMOSconsistsofS-gate
accompaniedby process.Thegate
first 80urcewith work-functionmaterial second
(the higll D—gate(thegate
gateapproaching P+poly)and
drain low material theeffective
with work—function
approaching n+poly)usingconcept“gateengineering”.
MEDICIsimulationsrevealthattheDMG-LDMOSCUincreasethe ofelectroninthe
The averagevelocity
ina structurecanincreasethebreakdown
transconductance.Meanwhile,this
channel,resultinghigher
andenhancethemaximumcut—off
voltage frequency.
words:dual-material
您可能关注的文档
- 福建电网继电保护状态检修探讨 probing into condition maintain of rely protection for fujian electric power grid.pdf
- 福建电网实时发电调度评估 evaluation for real-time dispatch of electric power generation for fujian power grid.pdf
- 福建电网失步断面的仿真与预测 simulation and prediction for interface of out-of-step of fujian power grid.pdf
- 福建电网调控一体化运行管理模式的研究与实现.pdf
- 福建电网实时调度系统效益分析 analysis for benefit of real time dispatching system for fujian power grid.pdf
- 福建电网与广东电网联网效益的研究 study for benefit of association of fujian electric network and guangdong electric network.pdf
- 福建电网调度操作模式优化的实践和建议 practice and suggestions for optimize of dispatching modes of fujian electric power network.pdf
- 福建电网稳定性变化趋势分析 analysis on stability trend of fujian electric power grid.pdf
- 福建电网近期短路电流及其控制措施 short-circuit current in the near future of fujian grid and the control measures.pdf
- 福建电网实测负荷模型对仿真计算的影响 influence of actual-measurement load model on simulation calculation in fujian electric power grid.pdf
文档评论(0)