磁致伸缩微位移驱动器性能测试分析南京天文光学技术研究所.pdf

Vol. 6　No4 天 　文 　研 　究 　与 　技 　术 第 6卷 　第 4 期 D ec. , 2009 A STRONOM ICAL RESEARCH TECHNOLO GY 2009年 12 月 CN 53 - 1189 / P　ISSN 1672 - 7673 磁致伸缩微位移驱动器性能测试分析 1, 2 1 3 张梦良 , 戚永军 , 杨斌堂 1. 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 , 南京 2 10042; 2. 中国科学院研究生院 , 北京 100049; 3. 上海交通大学机械与动力工程学院 , 上海 200240) 摘要 : 介绍了磁致伸缩微位移驱动器的工作原理 , 分析了检测方法 , 设计了使用双频激 光干涉仪作为测量基准的测试平台; 对该驱动器的位移的输出特性进行了测试 , 通过拟合处 理对测试结果进行数据分析 , 可提高超磁致伸缩微位移驱动器的线性度和控制精度 , 使得驱 动器性能改善 。基于磁致伸缩效应原理研制的微位移驱动器 , 具有线性好 、分辨率高 、精度 高等优点 , 经测试 , 达到了设定的参数指标要求 。 关键词 : 磁致伸缩效应 ; 微位移 ; 驱动器 ; 多项式拟合 中图分类号 : TH751s 　　文献标识码 : A 　　文章编号 : 1672 - 7673 (2009) 04 - 0342 - 05 1　微位移驱动机构分析 微位移驱动及其驱动器是大型天文望远镜核心技术 ———主动光学的关键环节和部件 , 目前实现微 位移驱动大多采用基于液压 、电机 —减速器式缩微原理的驱动器 , 应用中潜在或已出现漏液 、迟滞等 问题 。 11　电机 —减速器式 该微位移机构是直接利用电机作为驱动元件产生微位移 , 以磁场与通电导体之间的相互作用为基 础 , 具有任意的调节行程 , 无限的位移分辨率 , 响应快等特点 。目前应用到天文望远镜上的该类型驱 动器 , 最小步长为 10nm , 分辨率可达 4 4nm , 但主要问题是空回不可控制 , 成本过高 , 因此其应用 不是很广泛 。 12　压电效应式 ( ) 该机构利用压电元件 陶瓷 的逆压电效应来实现微位移 , 改变输入电压的大小即可得到不同的 ( ) 微位移 , 从而避免了机械结构造成的误差 , 所以具有简单 、尺寸小 、分辨率极高 可达纳米级 、发 ( μ) 热少 、无杂散电磁场 、便于遥控 、有较好的动特性和有很高的响应频率 响应时间达 100 s 等优 点[ 1 ] , 目前在天文望远镜上应用于小行程的较常见 ; 但如果要实现大行程 , 驱动器的成本非常高 , 另外还需要使用高压电源 , 结构复杂 。这些因素抑制了压电效应驱动器在大行程天文望远镜的应用 。 13　磁致伸缩式