非高斯高度分布函数构造的表面形貌的表征-表面技术.pdf

第45 卷 第 6 期 表面技术 2016 年06 月 SURFACE TECHNOLOGY ·205 · 非高斯高度分布函数构造的表面形貌的表征 李炯，林炜轩，程鹤登，陈榕杰，王江涌 （汕头大学 理学院，广东 汕头 515063 ） 摘 要：目的 研究具有不同高度分布函数的表面形貌粗糙度参数的变化。方法 高度分布函数包含了 表面形貌的高度信息，通过对其逆运算可重新构建表面形貌。通过统计表征不同高度分布函数所构建 的表面形貌的高度类粗糙度参数，并对比分析它们之间的变化关系，从而确定用于准确描述表面形貌 的基本高度类参数。结果 源于同一种非高斯型的分布函数构建出的表面形貌，部分表征表面形貌的高 度类粗糙度参数会保持一致；而源于不同的非高斯型高度分布函数构建出的表面形貌，其部分高度类 粗糙度参数（R 、R 、R 、R ）会随高度分布函数形状的变化而发生规律性变化，由此提出了高度类 a q sk ku 参数简化选择的方式。结论 可根据需求选取适当的粗糙度参数来表征表面形貌。对于满足同一高度分 布函数的表面形貌，可以通过测量与峰值（谷值）相关的参数（如Rp 、Rv 等）或高度位置信息相关的 参数（如Rtm 、R3y 等），来表征区分不同的表面形貌。对于满足不同高度分布函数的表面形貌，可以通 过测量由分布函数确定的参数（R 、R 、R 、R ）来进行初步的表面表征区分，而后再按照需求进行 a q sk ku 多参数的测量。 关键词：高度分布函数；表面形貌；形貌表征；高度类粗糙度参数；粗糙度参数简化；随机分布 中图分类号：TG84 文献标识码：A 文章编号：1001-3660(2016)06-0205-08 DOI ：10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2016.06.031 Characterization of the Surface Morphologies Generated from Non-Gaussian Height Distribution Functions LI Jiong, LIN Wei-xuan, CHENG He-deng, CHEN Rong-jie, WANG Jiang -yong (College of Science, Shantou University, Shantou 515063, China) ABSTRACT: Objective To study the change of the roughness parameters with the surface morphologies having different height distribution functions. Methods Height distribution function (HDF) contains the height information of a surface mor- phology that can be reconstructed through the inverse operation of the HDF. In this paper, we calculated the amplitude rough- ness parameters used to characterize the different surface morphologies generated by different HDFs. Results By analyzing the