基于80c196kc的单晶炉等径控制系统设计 the design by using 80c196kc chip of single-crystal furnaces equal diameter control system.pdfVIP

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2017-08-13 发布于上海
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基于80c196kc的单晶炉等径控制系统设计 the design by using 80c196kc chip of single-crystal furnaces equal diameter control system.pdf

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基于80c196kc的单晶炉等径控制系统设计 the design by using 80c196kc chip of single-crystal furnaces equal diameter control system

电子工业专用设备制造设备 Eguipment for Electronic Products Manufacturing IC 基于 80C196KC 的单晶炉等径控制系统设计谭何军，易臻希，成秋万中国电子科技集团公司第四十八研究所长沙 ! # 4 10111 ! ! 摘要等径生长控制系统是单晶炉上的重要组成部分其性能对于单晶的生长至关重要以 ! ! 80C196KC 单片机作为控制系统的核心部件采用PID 算法以及其他的软硬件设计实现了一整套单晶炉生长控制的设计方案 ! $ $ 关键词单晶炉 80C196KC 等径控制中图分类号! 文献标识码! 文章编号! TB304.05 A 1004-4507 （2007）00-0049-04 The Design by Using 80Cl96KC Chip of Single-crystal Furnaces Egual Diameter Control System TAN He-jun ， YI Zhen-xi ， CHEN Oiu-yun （The 48th Research Institute of CETC, Changsha 4 10111, China） ! Abstract Egual diameter growing control system is the important component of Silicon Crystal Grow- ing Furnaces. The performance of Egual- diameter growing control system is Very important to the sili- con crystal growing process. We implement a proj ect for controlling silicon crystal growing which using 80C196KC chip as its core, adopting PID arithmetic and designing some other hardware and software. Keyword !Single-crystal Furnace; 80C196KC;Egual-diametre control 1 引言扰因素影响情况下, 单晶等径生长主要受温度和拉速影响。因此,炉内热场和生长速度的精确控制是直拉式单晶炉是以直拉法从熔化的多晶硅熔