以新式试验方法探讨新兴微奈米薄膜塑性回复非均质与黏弹性等新颖.PDF

行政院國家科學委員會專題研究計畫 成果報告 以新式實驗方法探討新興微奈米薄膜塑性回復非均質與黏 彈性等新穎機械行為(III) 研究成果報告(精簡版) 計 畫 類 別 ： 個別型 計 畫 編 號 ： NSC 99-2628-E-005-002- 執 行 期 間 ：99年08月01日至 100年07月31日 執 行 單 位 ：國立中興大學精密工程學研究所 計 畫 主 持 人 ： 林明澤 計畫參與人員： 博士班研究生-兼任助理人員：童麒嘉 博士班研究生-兼任助理人員：王瑜婷 博士班研究生-兼任助理人員：鄭雅琪 報 告 附 件 ： 出席國際會議研究心得報告及發表論文 處 理 方 式 ： 本計畫可公開查詢 中 華 民 國 100 年 09月 30 日 行政院國家科學委員會專題研究計畫成果報告 以新式實驗方法探討新興微奈米薄膜塑性回復非均質與黏彈性等 新穎機械行為 (III) Using new measurement methods for the study of novel plastic deformation recovery, inhomogeneous and viscoelastic mechanical properties of thin film III 計畫編號： NSC 99-2628-E-005-002 執行期限： 99 年 8月 1日至 100 年 7月 31日 主持人：林明澤副教授 中興大學 精密工程研究所 計畫參與人員： 童麒嘉、鄭雅琪、王瑜婷 中興大學 精密工程研究所 一、中文摘要 量測方法及靜電力驅動方式，探討黏附於 矽基板上之金屬薄膜材料動態響應行為與 在現今生活上，人們所接觸到微機電系 材料機械性質。實驗量測所使用之薄膜載 統可說是越來越廣泛，需求量更是年年攀 具是一可產生均勻應力分佈之新型微槳型 升，由於MEMS 具有處理、感測及致動之 能力，所涵蓋範圍相當廣泛，其中包含了 結構樑 (Paddle cantilever) ，因此可提高量測 結果的準確性。研究中以靜電力施加負載 機械、光學、電子、化學、生物等工程上 於量測試件上並利用電容值的改變量獲得 之整合。其可以應用之領域更包含了資訊 試件之形變量，之後結合力學理論進而測 及通訊、航太空工業、交通運輸、製造業 得薄膜材料之機械性質。此實驗使用自由 生產、自動化功能與土木建設等，而為了 衰減的方式對不同厚度之銀薄膜內耗之結 能發展出更新更快之元件，學者們不斷的 果並驗證懸臂樑結構用於此振動量