第二章文献与理论回顾.pdf

理論 2.1 2.1-1 1955 年(Du pont)Edward Robinson 了 (PI) 料狀 PAA 來 易易 [19] 1959 年 Sroog Endrey Abramo 量不 1961 年 Kapton Vespel Pyre-ML [20] 不 不 不 量 度 2-1 2-2 10 [21] 2-1 2-2 連度 [21] 兩都類 度 Tg 裂若連 度 Tg 裂度降 [22] 2.1-2 2-3 IC PolyimidePI-2540 2545 列 來 aromatic rings ICPolyimide-SiO2 Polyimide-Si3N4 Polyimide-Metal 不 兩不數 coefficient of thermal expansion 不 不 不 不 例度 來 來[21] [23] 11 1. 料 [24-25] 不 列 列 2. 不 KOH NaOH LiOH 聯 … [26-27] 了 列[28]:; 降 易 12 了度量 聯 來 3. [29] 1-4率率 率若 不易; 洞 ; 留 易 率 4. 度 [30]: 度 Tg Tg ; (Para) Meta Tg [31] 5. 數 易 數 13 2.1-3 兩two steps reaction precursor -polyamic acid,PAA polar aprotic solvent 行量 thermal imidization chemical imidization 2-4 NMP(N-methylpyrrolidone) DMAc(N,N-dimethylacetamide) DMF(N,N-dimethylformamide) DMSO(dimethyl sulfoxide) 利 都 度 利 率度 度 留 [32] [33] 2-5 amine amide 行 b 路 量 14 1量數 數 若 量 amine group 類 類 amine group