平面电动机的发展现状(ⅰ) development of 2d planar motors (ⅰ).pdfVIP

…．．焦整蔓型……20…11 1曼!舅…………………………………………………………………．。哆：怂……! 平面电动机的发展现状(I) 寇宝泉，张赫，潘东华，张鲁，李立毅 (哈尔滨工业大学，黑龙江哈尔滨150001) 摘要：对国内外平面电动机的研究现状和应用情况进行了综述。平面电动机具有二维直接驱动的特点，作 为可以实现高精度、高频响的平面定位装置，近年来受到广泛关注。文章对变磁阻型、感应型以及部分永磁型平面 电动机的结构、原理和特点进行r归纳总结。 关键词：平面电动机；平面直驱；结构；变磁阻型；感应型 中图分类号：TM35文献标识码：A 文章编号：1004—7018(2011)1-0061-04 of2DPlanar Development Motors(I) KOU Bao-quan，zHANGHe。PANDong-hua，ZHANGLu。Llh一再 Instituteof 15000 (Harbin 1，China) Technology，Harbin researchstatusand of motorsbothdomesticandatabroadwere inthis Abstract：The paper． applicationplanar investigated Planarmotorshavethe of have merit2Ddirect-driveand attractedincreasedinterestinrecent bec勰itcouldachieve2D years with and andcharacteristicsofvariable肛 hish response．The positioninghish-precisionfrequency structure．workingprincrple luctance motoranda of motorweresun帅arizedinthis planarmotor，inductionplanar part permanentmagnetplanar p{lper． motor；2Ddirect-drive；structure；variablereluctance；induction Keywords：planar 即平面电动机。与传统的定位工作台相比，平面电j 0引 言 动机的运动轨迹不是两个相互垂直的导轨在运动方； 目前，实际应用中较为广泛的能够实现二维驱 向上的合成，而是直接利用电磁能产生平面定位运i 动及定位的方法有三种：一是压电陶瓷配合柔性铰 动，具有出力密度高、热耗低、精度高等特点，另外由； 链机构进行驱动，二是利用传统的旋转电机驱动，三 于摒弃了丝杠、螺杆等中间转换装置，故可以实现控； 是利用直线电机进行直接驱动。虽然这三种机构都 制对象和平面电动机的一体化，因而具有响应速度： 可以实现