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平面电动机技术发展综述 the review of planar motor technology development
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平面电动机技术发展综述
寇宝泉,张鲁,李立毅,张赫
(哈尔滨工业大学,哈尔滨150001)
摘要:综述了平面电动机的发展现状,讨论了平面电动机的分类情况,针对不同结构类型的平面电动机,简单阐
述了其结构、工作原理和特点,指出平面电机技术目前存在的不足,探讨了平面电动机未来的发展前景和方向。
关键词:平面电动机;平面定位装置
中图分类号:TM359.9文献标志码:A 文章编号:1001—6848(2010)11-0066.07
TheReviewof Motor
Planar TechnologyDevelopment
KOU He
Bao—quan,ZHANGLu,LILi-yi,ZHANG
lnsititute
(Haibin ofTechnology,Harbin150001,China)
Abstract:The of motorwereoverviewed.Theclassificationof motorwerealso
developmentplanar planar
the
discussedinthis differentstruetralof structureand
motors,the workingprincple
paper.For typesplanar
andcharacteristicswerediscussed ofthe motor were
briefly.Theshortcomingsplanar technologypointed
thefuturedirectionand of motor.
out.Finally,investigated prospectsplanar
Words:Planar devicel
Key motor;Positioning
De-
此平面电动机在二维平面定位装置(Positioning
0 引 言
vice)特别是现代半导体微细加工装备和其它超精
密二维平面定位装置中有广阔的应用前景¨一J。
现代精密、超精密加工装备对高响应、高速
根据电磁推力的产生原理,可将平面电动机划
度、高精度的平面驱动装置有着迫切的需求,传统
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