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平面螺旋电感耦合微波等离子体源的建模分析 modeling of planar spiral inductively-coupled microwave plasma source
第22卷第3期 电波科学学报 V01．22，NO．3
CHINESE OF
2007年6月 JOURNALRADIOSCIENCE June，2007
文章编号1005—0388(2007)03—0400—05
平面螺旋电感耦合微波等离子体源的
建模分析
廖 斌 曹焕丽 朱守正
(华东师范大学信息学院电子系，bliao@ee．ecnu．edu．cn，上海200062)
摘 要 介绍了一种小型化的2．45GHz小功率平面螺旋电感耦合微波等离子体源
的建模方法。根据等效电路，推导出平面螺旋电感线圈的品质因数，并进行数值分
析。研究表明：无载品质因数随结构、尺寸和频率等的变化而变化，并在谐振频率附
近达到最大值。这为小功率电感耦合微波等离子体源的优化设计提供了理论依据。
关键词 平面螺旋电感耦合，微波等离子体源，品质因数，数值分析
中图分类号 TN99 文献标识码 A
of
Modelingplanarspiralinductively‘coupled
microwavesource
plasma
LIAOBinCAOHuan—liZHU
Shou-zheng
Electronic ChinaNormal
(Departmentof Engineering，EastUniversity，
200062，China)
bliao@ee．ecnu．edu．cn，Shanghai
A
Abstract oflow microwave
modelingpowerplanarspiralinductively-coupled
sourceat is in
2．45GHz this factorof
plasma presentedpaper．Thequality planar
coilwasdeducedwith circuitsand
re—
spiral equivalent analyzednumerically．The
sultsindicatethattheunloaded factor with and
quality changesconfiguration，size
reachesmaximumneartheresonant beatheo—
frequency，and frequency．Thismay
retical for low
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