气相沉积法碳化硅涂层-中国有色金属标准质量信息网.DOC

ICS77.040 H17 CNIA 中华人民共和国有色金属协会标准 CNIA/T XXX—XXXX 气相沉积法碳化硅涂层 Silicon carbide coating made by vapor deposition （征求意见稿） 本稿完成日期：2017年7月 XXXX - XX - XX发布 XXXX - XX - XX实施 中华人民共和国工业和信息化部发布 前言 本标准是关于在石墨表面沉积硬质涂层的系列标准。 本标准负责起草单位：江苏协鑫特种材料科技有限公司 本标准参加起草单位：江苏中能硅业科技发展有限公司 本标准主要起草人： 于伟华 气相沉积法碳化硅涂层 范围 本标准规定了气相沉积法碳化硅涂层的产品标准、试验方法、标准以及包装、、运输贮存。 EN ISO 9220 金属覆盖层 镀层厚度测量 扫描显微镜法JB / T 8554 气相沉积薄膜与基体附着力的划痕试验法 GB / T 6462 氧化物覆盖层厚度测量显微镜法GB / T 6463 金属和其它无机 GB / T 21782.2 粉末涂料2部分： GB / T 21782.3 粉末涂料：液体置换比重瓶法测定密度 16535 精细陶瓷线热膨胀系数试验方法顶杆法 6060.3 表面粗糙度比较样块 第3部分：电火花、抛（喷）丸、喷砂、研磨、锉、抛光加工表面 GB / T 1031 产品几何技术规范（）结构表面粗糙度参数及其数值GB / T 7997 硬质合金 维氏硬度试验方法不同行业需求，沉积制备石墨表面 3.2碳化硅涂层密度 沉积制备涂层的理论密度为g/cm3，如果测试密度结果偏差%，则说明该涂层并不致密。 涂层 化学气相沉积制备涂层的理论：，， 3.4碳化硅涂层强度 沉积制备碳化硅涂层的抗压强度理论数值为 3.5碳化硅涂层耐化学性 上，碳化硅涂层%HCL、98%H2SO4、65%HNO3或HF- HCL混酸等溶液中涂层均无影响NaOH和KOH溶液中，涂层无影响在450℃下，熔融NaOH和熔融KOH中碳化硅涂层会严重损害 3.6碳化硅涂层抗热震性 沉积制备表面碳化硅涂层在下，抗热震次数分别低于，可判定该样品热震测试不。 涂层耐磨性 沉积制备表面碳化硅涂层通过磨损机实验后，损失质量超过g即为耐磨性不合格机设定为r/min，h。磨损机使用mm。8碳化硅涂层表面硬度沉积石墨碳化硅涂层应高于洛氏硬度应高于9碳化硅涂层 化学气相沉积石墨碳化硅涂层可根据不同行业制定。10表面光滑度 沉积石墨碳化硅涂层光滑度可根据不同行业制定。 涂层 化学气相沉积石墨碳化硅涂层应为金属光泽 3.12碳化硅涂层 化学气相沉积石墨碳化硅涂层膨胀系数一般由热膨胀仪，值应该在3.5*106/℃至4.5*106/℃（200℃）4*106/℃至5*106/℃（400℃）4.5*106/℃至5.5*106/℃（800℃）。碳化硅涂层厚度的检测方法： 4.1.1 （）（GB/T 6463）方法中，厚度是在覆盖层横断面放大的图像上测得的。 电子显微镜法（） 方法中，覆盖层厚度是用一台电子显微镜在覆盖层横截面放大的图像上测量的。测量是在一张普通显像图或单向扫描横断层的视波信号照片上进行的。 表面碳化硅涂层密度的检测方法： 样品准确质量，再通过 21782.2-2008 粉末涂料2部分：或者8 粉末涂料：液体置换比重瓶法测定密度的方法测出碳化硅涂层的，可通过（ρ=m/v）计算得出涂层密度数值。 计算公式ρ=m/v 式中ρ密度，以/cm3或kg/m3为单位，m质量，以g或kg为单位v为体积，以3或m3为单位。表面碳化硅涂层强度测试： 碳化硅涂层材料） 一般试验都偏向使用三点（或四点）mm（或为样品直径的），0个数据取平均值，而实际上，也可以测试5个试样，再取这5个数据的平均值。 石墨表面碳化硅涂层抗压强度测试： 强度指的是外力施加压力时的强度极限，用代号σbc将碳化硅涂层材料） 抗压强度测试的公式为：p=P/A 式中p为抗压强度，以每平方吋多少磅（psi）、每平方公分多少为单位，P为压力，以磅、为单位，A为剖面面积，以平方公分、平方为单位。 表面涂层的耐化学性测试： 作为石墨基样品放入事先配置好的中，使之与注意样品需为涂层全包覆，避免在覆盖层缝隙基体处的腐蚀点%HCL、98%H2SO4、65%HNO3、HF- HCL作为酸性腐蚀液，将石墨基涂层样品加热至沸点，维持后冷却，再2）耐碱性试验 分别选取NaOHKOH溶液作碱性腐蚀液，浓度为10%，基涂层样品加热至沸点，维持后冷却，再 （3）耐盐性试验 选取NaCl溶液作腐蚀液，浓度为10%，同样地将石墨基涂层样品加热至沸点，维持后冷却，再 碳化硅涂层抗热震性能测试 性能测试制备样品，样品min取出来进行一次蒸馏水急冷，等水面平静，取出观察涂层表面