特种气体贮运应用安全与特性-浙江工业气体协会.PDF

低温与特气　　1997　　 1 61 技术讲座 特种气体贮运、应用、安全与特性 ——硅烷、砷烷、二氯二氢硅 梁 国 仑 (化工部光明化工研究设计院　大连　116031) 2　产品质量标准 硅　烷 企 业 标 准 别　　名　甲硅烷; 四氢化硅 指　　标 指标名称 英文名称　Silane; M ono silane; Silicon 南京特 浙江大学 保定红星 气公司 单晶硅厂 　　　　　tetrahydride 电阻率 - ≥ cm 分 子 式　SiH 4 氧 (O 2) 10- 6 ≤ 10 0 03 6 氮 ( ) 10- 6 ≤ 3 2 40 N 2 1　物化性质 - 6 0 17 氩 (A r) 10 ≤ 10 (包括H e) 氢 (H 2) 10- 6 ≤ 500 330 500 硅烷是一种无色、极活性压缩气体, 在空 水 (H O ) 10- 6 ≤ 3 D P - 78 ℃ 3 2 ( ) - 6 气中自燃。分子量为 32112。在21 1℃和 总烃 THC 10 5 12 (仅分 10 ≤ 析CH 4) 1013kPa 下比重 ( 空气 = 1 ) 12。比容 CO + CO 210- 6 ≤ 10 0 5 10 3 0749 。0 ℃和 1013 下气体密度 - 6 m kg kPa 氯硅烷10 ≤ 10 10 144 3 , - 185 ℃下液体密度711 3。 kg m kg m 　　混合气充瓶压力15 , 纯硅烷充瓶压力7 5 。