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2012半导体物理第四章-2
* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 温度低时,下式分母中BNi/T3/2项增大,杂质散射起主要作用。 晶格振动散射与前者相比,影响不大。 迁移率随温度升高而增大。 温度继续升高后,Ni增大,因T增大,可以使BNi/T3/2降低,起主导作用的是AT3/2项,晶格振动散射为主,迁移率下降。 图4-14表示锗、硅、砷化镓在室温时迁移率与杂质浓度的关系。 杂质浓度增大,迁移率下降。 T不变,Ni越大,μ越小.晶格振动不变时,杂质越多,散射越强,迁移率越小。 表给出较纯锗、硅和砷化镓300K时迁移率数值 电子迁移率均大于空穴迁移率 注意:高补偿材料,载流子浓度决定于两种杂质浓度之差,但载流子迁移率与电离杂质总浓度有关。 设ND和NA分别为硅中施、受主浓度,且NDNA,如杂质全部电离,则该材料表现为电子导电,ND-NA,但迁移率决定于两种杂质的总和:Ni=ND+NA。 4.4 电阻率及其与杂质浓度和温度的关系 习惯用电阻率来讨论问题 室温下,本征硅的?约为2.3×105Ω·cm,本征锗(禁宽小)?约为47Ω·cm。 电阻率决定于载流子浓度和迁移率,与杂质浓度和温度有关。 4.4.1 电阻率和杂质浓度的关系 图锗、硅和砷化镓(温度定)300K时?随杂质变化的曲线(非补偿或轻补偿)。 ? ? 轻掺(杂质浓度1016~1018cm-3),室温下杂质全部电离,载流子浓度等于杂质浓度,n≈ND, p≈NA,而迁移率随杂质浓度的变化较小。 ?与杂质浓度成反比,杂质浓度越高, ? 越小,图4-15上近似为直线。 杂质浓度增高时,曲线严重偏离直线。 原因: 一是杂质在室温下不能全部电离(重掺杂简并半导体中情况更加严重); 二是迁移率随杂质浓度的增加将显著下降。 常通过查表得电阻率和杂质浓度的换算 硅中掺10-6的砷,ND=5×1016cm-3,电阻率约0.2Ω·cm。 由电阻率可确定所含杂质的浓度 材料越纯,电阻率越高(高度补偿材料例外)。 4.4.2 电阻率随温度的变化 纯半导体,电阻率由ni定。ni随温度上升急剧增加 室温附近,每增加8℃,硅ni就增加一倍,迁移率变化小,电阻率将降低一半; 锗增加12℃,ni增加一倍,电阻率降低一半。 本征半导体电阻率随温度增加而单调地下降(不同于金属)。 掺杂半导体,杂质电离、本征激发同时存在。电离杂质散射和晶格散射机构的存在,电阻率随温度的变化关系复杂,图表示一定杂质浓度硅样品电阻率和温度的关系,大致分为三段: AB段 温度很低,本征激发可略,载流子主要由杂质电离提供,它随温度升高而增加; 散射主要由电离杂质决定,迁移率也随温度升高而增大,所以,电阻率随温度升高而下降。 BC段 温度继续升高,杂质全部电离,本征激发不显著,载流子基本上不随温度变化,晶格振动散射为主,迁移率随温度升高而降低,所以,电阻率随温度升高而增大。 C段 温度继续升高,本征激发很快增加,大量本征载流子的产生超过迁移率减小对电阻率的影响,杂质半导体的电阻率将随温度的升高而急剧地下降,表现出同本征半导体相似的特征。 电阻率尚受其他影响: 与材料有关,禁带宽度越大,同一温度下的本征载流子浓度就越低,进入本征导电的温度也越高。 锗器最高工作温度为100℃,硅为250℃,而砷化镓可达450℃。 * * * * * * * * * * * * * N(t)PΔt (4-34) N(t)比t+Δt时尚未遭到散射的电子数N(t+Δt)多N(t)PΔt, N(t)-N(t+Δt)=N(t)PΔt (4-35) 当Δt 0 上式可写为 ? 上式的解为 ? N(t)=N0e-Pt (4-37) N0是t=0时未遭散射的电子数。代入式( N(t)PΔt ),得t~(t+dt)时间内被散射的电子数为
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