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微齿轮受力分析 杨林 （五邑大学 机电工程学院，广东 江门 529020） 摘 要：本文在宏观齿轮力学基础上，通过引入影响系数来分析纳米齿轮的受力情况。 关键词：微齿轮 范德华力 应力 1 微齿轮的研究意义 随着微纳科技的发展，以形状微小或操作尺寸极小为特征的微电子机械系统(MEMS)，已经成为人们在微观领域认识和改造客观世界的一项高新技术。MEMS由于具有能够在狭小空间内进行工作而又不扰乱工作环境的特点，在航天航空、精密机械、生物医学等领域有着广泛的应用潜力，因而受到各国的高度重视，被列为二十一世纪关键技术之首。微机电系统(MEMS)是以微电子技术和微加工技术(包括硅体微加工、硅表面加工、LIGA和键合等技术)为基础，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路甚至接口、通信和电源等于一体的微型器件和系统。MEMS并非是单纯的宏观机械微小化，它的研究目的在于通过微型化、集成化来探索新原理、新功能的元件和系统，开辟一个新的科学技术领域和产业。 微齿轮作为组成微减速器的零件之一，是一种重要的微机械传动零件，主要用于传递动力和运动。微齿轮具有体积小、传动紧凑等优点。它的应用遍及各个领域，如在航空航天中的微纳卫星、现代医学的微创手术以及在微型机器人中实现动力传递和运动转换等功能。德国美茵茨微技术研究所己成功将微齿轮应用于粘性流体的精确控制”。毫无疑问，微齿轮具有极大的商业和应用价值。 经过若干年的发展，微齿轮已经试制成功。继1987年加州大学伯克利分校制造出微马达及微齿轮、曲柄和弹簧后。美国已经制造出直径为700毫米的微齿轮。德国美茵茨微技术研究所利用LIGA技术和精加工技术相结合，成功制造出直径为1192微米，高度为500微米的微齿轮。日本信州大学用纳米碳复合材料制成了世界上最小的钟表用齿轮，直径为200微米。其它试制成功微齿轮的还有美国阿贡国家实验室、贝尔实验室公司等单位。近年来，国内也积极开展了微齿轮方面的研究，并已经有了一些研究成果。上海交通大学薄膜与微细技术实验室成功试制了模数为0.03毫米，直径为2毫米的微齿轮及微行星齿轮减速器。中国科学技术大学国家同步辐射实验室利用LIGA技术成功制造出微齿轮活动部件。目前，在扫描力显微镜帮助下，专家已经能够没计出了只有几个分子组成的微齿轮构件。显然人们在微齿轮制造方面的研究已经取得了很大的成功和突破，微齿轮将向更小尺寸方向发展。 2 微齿轮范德华力的计算 微齿轮是微机械中极为重要的传动零件，主要用于传递运动和动力。微齿轮在传动啮合接触过程中由于传递了运动和动力必然要受到力的作用而发生应力应变。随着齿轮特征尺寸的缩小，微观效应和多物理场耦合效应的影响就越显著，现有的成熟的齿轮理论已经不在适用于微齿轮，本来在宏观齿轮应力应变或力学分析中可以忽略的微观力(例如：表面张力、静电力、范德华力和Casimir力等)在微齿轮中就必须加以考虑。为了对微齿轮进行力学或应力应变分析，必须先计算微齿轮啮合接触中啮合齿廓间的微观力，再对现有的齿轮理论进行修正或创新。 2．1 微齿轮啮合接触齿廓间范德华力的计算方法比较 目前从理论上研究离散的微观物质世界存在三种方法：(1)根据量子力学理论，用薛定谔方程求解；(2)利用分子动力学等模拟方法模拟分子原子等的运动；(3)根据Hajaker假设用连续介质方法求解。第一种方法，理论成立，但需要求解薛定谔方程，根据目前的计算能力很难解决实际问题。第二种方法，对计算机要求很高，只能满足部分纳米器件的需要。本文利用第三种方法来求解微齿轮啮合接触时两啮合齿廓间的范德华力，此范德华力为两齿轮齿廓刚刚接触但未发生变形时其问的范德华力。 2．2 渐开线简化数学模型 为了分析微齿轮啮合接触时两啮合齿廓问范德华力，就必须建立渐开线的数学模型。由图2.1，假设渐开线上任一点的坐标为（x，y)，则图示位置渐开线的数学模型为： 式中：渐开线基圆半径; 一渐开线上一点(x，y)的展角和压力角之和。  图2.1所示的渐开线为特定位置下的渐开线，不能满足计算需要，所以需要建立处于二维空间任意位置的渐开线数学模型。图2.2所示的渐开线是处于二维空间任意位置的渐开线，是由图2.2的渐开线旋转角度后，然后将齿轮的轴心平移到点得到的。 假设点的坐标为(x0’,y0’)，未旋转前的渐开线上任一点的坐标为(x0,y0)，未平移前的渐开线上任一点的坐标为(x1,y1)，平移后渐开线(图2.2所示)上任一点的坐标为(x，y)，则 （2） 处于二维空间任意位置的渐开线数学模型为 ; （3） 设渐开线数学表达式y=f(x),使用泰勒公式对上式进行简化 ； 设两齿轮的啮合点为（x0,y0）,则有任意间任意位置渐开线的简化数学模型为：