Solvix by AE Arc and Bias Series陰極電弧沉積與.pdf

SOLVIX BY AE ARC AND BIAS SERIES 陰極電弧沉積與精確的製 程控制和卓越的鍍膜品質 • 0 - 400 A 直流和脈衝直流電弧 電源供應器 • 3 - 30 KW 直流和脈衝直流 偏壓電源供應器 用於陰極電弧沉積的 SOLVIX BY AE 直流和脈衝直流電源供應器 Solvix by AE 電弧-偏壓解決方案為陰極電弧處理程序提供了全新層次的精準度和生產 力。 強大的電弧放電、靶材材料迅速汽化以及高能量離子會讓陰極電弧沉積功能變得強 大但同時也可能導致不穩定性。 Solvix by AE 電弧供應可在目前層次範圍（最高 400 A） 針對卓越的等離子體離子化、離子能量和生產量提供非凡的功能和過程控制。 Solvix by AE 偏壓供應甚至可以更大程度的控制薄膜特性以顯著提高鍍膜的堅硬性、緻密 性、耐用性和粘附性。 Advanced Energy 提供世界領先的電源轉換技術，Solvix by AE 電弧-偏壓解決方案具備高效能、堅固耐用且最具成本效益，最適用於先進陰極電弧工藝。 優點 電源及製程控制 規定啟動與高精準度 ( 1%)、可重複 ( 0.5%) 輸出穩定製程條件。 脈衝透過讓陰極電弧保持 • 電源及過程控制 在檢查狀態，同時不降低沉積速率（因為可以在高電流層次（最高 400 A）進行操作）來提高控 • 增強鍍膜密度與粘附性 制程度。 • 減少目標損害 • 可靠性久經考驗 增強鍍膜密度與附著性 • 全球支援體系 陰極電弧沉積由於其高離子能量，通常可生產出緻密、堅固耐用、均勻且高度粘合的薄膜。 然 • 減少基板損傷並提高產量 而，微粒過濾會干擾這個過程。 此外，離子過大的力度可能會影響基板，造成薄膜應力和粘附 • 適用於廣泛的工藝需求 性問題。 Solvix by AE 偏壓電源供應可調節影響基板的離子能量，從而控制重要的薄膜性能， • 高生產量 如植入度，密度和粘附性。 • 高效安裝與維護 減少靶材損害 特性 陰極電弧產生的大量熱量可能摧毀目標品質。 脈衝容許在脈衝關閉期間進行冷卻，從而可延長 • 一流的電弧處理 靶材壽命。 它也會限制陰極電弧運動來抑制破壞性陰極斑點的增長。 • 直流和脈衝直流裝置 • 電弧裝置： 60、100、210 和 可靠性久經考驗 400 A Solvix by AE 電弧-偏壓系統提供高度開發的直流與脈衝直流技術。已經簡化過的裝置可以減 • 偏壓裝置： 3 - 30 kW 少潛在的故障點。 在世界一流的生產設備上建置，最挑剔的 OEM 審核師給予了最高評價，這 • 電流、功率和電壓調節模式 些堅固耐用的電源供應器高度可靠，在現場使用方面已經歷10年以上的考驗。 • 靈活的架構 • 空氣冷卻 • 大功率需求配置多個裝置 • 高效 DSP 調節器 應用 • 功能性鍍膜、裝飾性鍍膜 及硬膜的陰極電弧沉積 TiN、TiCN、ALTiN、ALCrSiN、 TiB 、CrN 等） 2 2 全球支援體系 世界各地數十個位置超過 200 名專業人士