四氟化硅气体中杂质的检测方法.PDF

第42卷第12期 无机盐工业 INORGANIC 2010年12月 CHEMICALSINDUSTRY 57 四氟化硅气体中杂质的检测方法 唐安江，韦德举，高珊珊，关星宇 (贵州大学。贵州贵阳550003) 摘要：介绍了四氟化硅气体中几类杂质的检测方法，主要包括气相色谱法、傅里叶变换红外光谱法、质谱法 和微波波谱法。用气相色谱仪可以检测出四氟化硅中气体中c，一C。碳氢化合物；用高分辨率傅里叶变换红外光谱 种检测方法的优点和缺点。 关键词：四氟化硅；气相色谱仪；傅里叶红外光谱仪；质谱仪；微波波谱仪 中图分类号：TQl27．2文献标识码：A 文章编号：1006—4990(2010)12—0057—03 methodsfor insilicontetrafiuoride Detecting impurities gas TangAnjiang，Wei Shanshan-Guan Deju，Gao Xingyu (Gu／zhou 550003。China) University-Guiyang Abstract：Detectingmethods，includinggas transforminfrared spectrome- chromatography。Fourierspectroscopy。mass microwave severalkindsof insilicontetrafluoridewereintroduced try。and spectroscopy，for impurity gas respectively．Gas Call detect insilicontetrafluofide Fouriertransforminfrared chromatographCl—C4hydrocarbom gas；high-resolution spec· trometercandetectthe as and impuritygases-suchSiF3OH，HF，SiF3H，SiF2H2。Sill3 CO；microwavespectrometer F，C02 Calldetectthe as Ula$S Calldetectthe impuritygases，suchCHF3，CH2F2，andCH3F；and spectrometer impuritygases，such as and ofeach methodwerefoundout at SiF3H。SiF2H2，SiF3，andOSiF3．Advantagesdisadvantagesdetecting bycomparison last． words：silicon transforminfrared Key tetratluoride；gaschromatograph；Fourierspectrometer；massspectrometer；micro- wave spectrometer 高纯度四氟化硅可用于制造非晶体硅、硅烷、多