第六章2009其它真空计.pptVIP

Vacuum measurement and leak detection真空测量与检漏之 Others vacuum gauges其它真空计 第六章 其它真空计Others vacuum gauges 弹性元件真空计 弹性变形真空计是利用弹性元件在压力差作用下产生弹性变形的原理而制成的一种直接测量真空计，可以在压力为102—105Pa的范围内进行低真空测量。根据弹性元件结构的不同，这种真空计分为三种类型，即弹簧管式、膜盒式和膜片式。 第六章 其它真空计Others vacuum gauges 第六章 其它真空计Others vacuum gauges 弹簧管式真空计又称又称布尔登真空计。 弹性膜盒真空计实质相当于双膜片，灵敏度高。 机械传动式测量，又称指针式真空表，大多数按热工习惯刻度，环境大气压时为0，高真空时为-0.1MPa ，有些可同时测量负压和正压，表盘刻度为-0.1MPa~+0.4(或0.6)MPa ，即为真空压力表。 弹性元件材料常用有磷青铜、铍青铜、黄铜等，为测量腐蚀性气体可采用不锈钢，有时也用石英作为弹性元件。 机械传动式测量有时可内部设置电触点，作真空继电器使用。 第六章 其它真空计Others vacuum gauges 弹性元件真空表的主要特点： 测量结果是气体和蒸汽压力的全压力并与气体种类、成分及其性质无关。 测量过程中仪表的吸气和放气很小，同时仪表内部没有高温部件，不会使油蒸汽分解。 测量精度较高；反应速度较快。 结构牢固，选用适当材料能测量腐蚀性气体。 测量方式为直接测量，是绝对真空计，0.5级以上的表可作为标准表。 第六章 其它真空计Others vacuum gauges 电容薄膜真空计 在弹性膜片真空计中，膜片在压力差作用下所产生的弹性变形量，可以采用机械的、光学的和电学的多种方法测量。其中电测量方式可以实现连续远距离测量，测量的灵敏度高。变形量与电信号间的变送方式有电感式、压电式、电阻应变式和电容式。尤其是利用电容法所制成的电容式薄膜真空计，已经逐渐地代替了传统的机械式薄膜真空计，获得了广泛的应用。 第六章 其它真空计Others vacuum gauges 第六章 其它真空计Others vacuum gauges 第六章 其它真空计Others vacuum gauges 第六章 其它真空计Others vacuum gauges 电容式薄膜真空计是由电容式薄膜规管（或称电容式压力传感器）和测量线路两部分组成。图中是包括两个结构完全相同的圆形固定电极和一个公用膜片构成的活动电极的差动式双电容规管。活动电极薄膜将规管内部空间分成相互密封的测量室和参考室，固定电极和活动电极薄膜构成差动电容器并作为电桥的两个臂布置在线路中。当活动电极处于中间位置时，两个电容器的电容量相等；一旦活动电极由于压差作用偏离中间位置时，则会出现其中一个电容器的电容量增加，而另一个电容器的电容量减少的现象。由于电容变化使电桥产生了不平衡，因而会产生输出电压，不同的输出电压对应不同的气体压力，这就是电容薄膜式真空计进行压力测量的基本原理。 第六章 其它真空计Others vacuum gauges 单电容零位法电容式薄膜真空计的测量范围为10-1—1Pa，其规管常数K可通过校准得到。而差动式双电容薄膜真空计，测量精度高，测量下限可达到10-3Pa 。 电容式薄膜真空计为全压计，测量结果与气体成分无关、测量精度高[一般(0.1~2)%]、反应速度快（2~100ms）、温度影响小和测量范围宽。其性能稳定，重复性好，响应时间快，抗过载能力强，结构牢固，使用方便，非常适合于对有氧、水蒸气及油蒸气等气体压力的测量。是比较理想的一种真空计。 测量电容方法有偏位法和零位法。零位法测量常被计量部门作为标准真空计使用。通过直流补偿电路使静电力和压力差平衡，再根据补偿电压指示真空度。 第六章 其它真空计Others vacuum gauges 振膜真空计：基于气体分子对振动膜片的阻尼效应与气体压力有关的现象制成的粘滞性真空计。测量范围：10-1—104Pa。 第六章 其它真空计Others vacuum gauges 第六章 其它真空计Others vacuum gauges 放射性电离真空计：利用放射性同位素辐射的高能粒子与气体分子碰撞电离制成的真空计。测量范围：10-1—104Pa。 第六章 其它真空计Others vacuum gauges 磁悬浮转子真空计：利用