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策 略 橱 窗 ATM I，准备好了! ◆撰稿：王丽娟JanetWang Lee ◆摄影：李慧臻Jane 对于半导体产业，最先进的 在于协助客户快速 纳米工艺而言，材料的重要性，与 开发出竞争力最高 日俱增。值得关切的两个关键，其 的尖端纳米工艺材 一，材料供货商“在技术上”，能 料配方。 照片人物：ATMI先进材料亚洲区总经理杨志高Ge。rgeYang 否协助晶圆厂开发先进工艺、提高 良率；其二，“在支持态度上”， 市场温度解冻 说是资格障碍赛，需要具备关键条 是否能力挺客户不能输的压力。 从晶圆厂传来的机台使用率 件，才能取得入场资格。 40n 2n 对于半导体产业，最先进的 消息看来，目前市场的冰寒期似 m之后，未来3 m、 纳米工艺而言，材料的重要性，与 乎已经解冻。虽然6英寸8英寸厂 22nm，晶圆厂一定要有能力证明自 日俱增。值得关切的两个关键，其 的机台还没有满载，但12英寸厂 己跑得比别人快、做得比别人好，而 一，材料供货商“在技术上”，能 可是忙碌得很! 材料科技，是一个很重要的转折点。 否协助晶圆厂开发先进工艺、提高 这意味着，终端电子产品， 良率；其二，“在支持态度上”， 准备以最尖端的工艺，来缔造下 材料．赢的关键 是否能力挺客户不能输的压力。 一波景气复苏的营收爆发力。纳 杨志海指出，材料，从过去的 SemieonTaiwan 2009，笔者专米工艺的良率及总成本高低，正 访了先进材料(ATMI)亚洲区总经是赢的关键。 理杨志海(GeorgeYang)以及他公 端技术上，或是在符合环保规范上， 司两位杰出的成员，亚洲业务总监 先进工艺最忙 都是。 谢俊安(AlvinHsieh)及产品经理 晶圆厂已纷纷调高资本支出， 刘立庆(JonesLiu)。对于支持半导其中，先进工艺的需求更是强劲。 金属闸(High—K／MetalGate)，来 体工艺客户，确保尖端纳米工艺及 ATMI先进材料亚洲区总经理杨解决先进纳米工艺漏电的问题，晶圆 环保规范的竞争力上，他们一致表 志海看市场，他说“我觉得前阵子已 厂如果无法在材料上，拥有独家秘密 示：ATMI，准备好了! 经过渡修正，其实市场并没有那么糟 武器，就无法掌握竞争力。 糕，所以现在变成单下的很急。” 此外，像硅穿孔(TSV)工艺 亚洲科技发展中心 企图在硅上穿／Jx孑L、在很细窄、深井 在产业景气下滑的时候，ATMI纳米，新的障碍赛 般的dxZfL里，填入金属，然后层层堆 做了哪些事?ATMI先进材料亚洲 若以半导体工艺材料的角度 栈，在材料上的挑战也很关键。 Yang)看，ATMI也体会到了客户端在尖端 材料，对于未来的科技，从工艺 区总经理杨志海(George 指出，该公司于2007年开幕的亚纳米工艺的种种需求，因此决定大 技术到节能环保，都是重要推手。 洲科技发展中心(AsiaTechnology力投资，以就近支持客户开发先进 DevelopmentCenter)持续投资，工艺的材料配方。 亚洲科技发展中心 至今已投入1，500万美元以上，目的 纳米工艺技术相较于过去，可