太阳能硅片切割砂浆回收.docVIP

太阳能硅片切割砂浆回收 使用的工艺研究 刘志强 李凤涛 许红亮 王海龙 殷贵宝 中国·英利 （海南） 摘要 由于太阳能行业的特殊性，硅片表面有很高的技术要求，因此对切割液和碳化硅微粉的要求相应也很高，质量要稳定可靠目前主要和随着太阳能硅片切割行业的重新洗牌以及利润的持续下降，硅片切割企业不约而同地打起来控制生产过程，降低生产成本的牌。最直接的就是对三大辅料中的切割液和碳化硅微粉的回收再利用。由于通过对废砂浆的回收利用，可以使切割液和碳化硅微粉的成本降低至少50％在线回收是指运用在线回收机直接对废砂浆进行离心分离，将杂质除的同时补充一定量的新液和新砂，然后直接循环利用。优点是通过在线回收机回收出来的直接就是砂浆，不用将液和砂分离，不增加任何可溶性杂质这样得到的液体能够保证原有的化学成分，具有与新切割液相同的表面活性、悬浮力和携带力，可多次重复使用同时免去了物流等中间环节；缺点是通过回收之后砂浆的杂质还是不可能剔除的很，是指通过建设废砂浆回收处理厂来对废砂浆进行分离加工。优点是可以回收出质量比较好的回收液和回收砂。缺点是物流等中间环节较多 （2）、颗粒度 目是指每平方英寸筛网上的空眼数目，50目就是指每平方英寸上的孔眼是50个，500目就是500个，目数越高，孔眼越多。除了表示筛网的孔眼外，它同时用于表示能够通过筛网的粒子的粒径，目数越高，粒径越小。 粉体颗粒大小称颗粒度。由于颗粒形状很复杂，通常有筛分粒度、沉降粒度、等效体积粒度、等效表面积粒度等几种表示方法。筛分粒度就是颗粒可以通过筛网的筛孔尺寸，以1英寸（25.4mm）宽度的筛网内的筛孔数表示，因而称之为“目数”。目前在国内外尚未有统一的粉体粒度技术标准，各个企业都有自己的粒度指标定义和表示方法。在不同国家、不同行业的筛网规格有不同的标准，因此“目”的含义也难以统一。 目前国际上比较常用等效体积颗粒的计算直径来表示粒径。以μm或mm表示。 下表为我国通常使用的筛网目数与粒径（μm）对照表。 目数 微米 目数 微米 目数 微米 目数 微米 2.5 7925 12 1397 60 245 325 47 3 5880 14 1165 65 220 425 33 4 4599 16 991 80 198 500 25 5 3962 20 833 100 165 625 20 6 3327 24 701 110 150 800 15 7 2794 27 589 180 83 1250 10 8 2362 32 495 200 74 2500 5 9 1981 35 417 250 61 3250 2 10 1651 40 350 270 53 12500 1 （3）、粒径、粒型 研磨砂99%以上的成分为SIC，切割时SiC颗粒附着在线网上，对硅块进行研磨式切割，SiC颗粒的形状与粒径对硅片质量有很大影响。以1200#Sic为例，Sic颗粒直径约为9.5um，且颗粒与颗粒间较为均匀，形状呈棱角形，线切割硅片很薄，一般180um-200um之间，如粒径太大，会造成硅片表面划伤，硅片切割后残余应力大，同时切割损耗大 2.2 切割液 液体的密度 由于承载磨料的液体密度越大，其与磨料微粉的混合性能就越强，所以在选择切割液时，主要选择液体密度高于1.0g/cm3的液体。 液体的挥发性 在线切割工艺中，切割瞬间散发出的热量较大，如果液体的沸点较低（或挥发度较高），则切割过程损耗较大，需要不断补充液体，难以保证切割出的产品质量。 液体的粘度 切割液必须具有高于水的粘度，这既可以保证磨料微粉的悬浮效果、又可以保证液体在线锯上的适度附着，增强浆料的热传导效率。 表面张力 众所周知，液体的表面张力越低，在固体表面的铺展性越好。这一性能决定了浆料在线锯及硅晶体表面的附着量。 3、物理回收方式的工艺研究 3.1原理 砂浆在切割一次后，大量硅粉、钢线磨损后的金属化合物混入砂浆里，附着并包围在SiC颗粒上，使SiC在切割前沿硅块表面打滑，切割能力减弱；为了消除硅粉及部分金属化合物，每次切割后需要更换大量的砂浆，但经过扫描电镜观察，一次切割后的废砂浆里，90%以上的SiC仍未充分利用 切割一次后Sic扫描电镜 物理回收方式可以去除附着在SiC上的细小硅粉以及破碎的SiC微粒，并将有用的SiC从旧砂浆中筛选出来，可将剩余80%左右磨损量较小的SiC颗粒重复利用；同时可分离出约50%的悬浮液，悬浮液不需增加任何化学物质及可溶性杂质，回收出的悬浮液具有与新悬浮液相同的表面活性、悬浮力和冷却性能。在净化后的砂浆中加入适量的新Sic和悬浮液，以保持良好的切削性能，可以再次进行切割。 根据一次切割后的硅料消耗，以及回收设备的去除硅粉能力，可计算出回收砂浆中的硅粉