两种物理气相沉积氮化钛涂层的结构及摩擦性能研究.PDFVIP

下载本文档

7
0
约 6页
2017-08-19 发布于天津
举报
版权申诉

两种物理气相沉积氮化钛涂层的结构及摩擦性能研究.PDF

1、本文档共6页，可阅读全部内容。
2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

两种物理气相沉积氮化钛涂层的结构及摩擦性能研究.PDF

See discussions, stats, and author profiles for this publication at: /publication/290491609 Structure and tribological properties of TiN coatings deposited with two different PVD methods Article · ay 2002 CITATIONS READS 6 23 7 authors, including: Xiuxun Han Peng X Yan Lanzhou Institute of Chemical Physics, C… Lanzhou University 60 PUBLICATIONS 506 CITATIONS 197 PUBLICATIONS ,01 CITATIONS SEE PROFILE SEE PROFILE Z. G. Wu Lanzhou University 81 PUBLICATIONS 1,040 CITATIONS SEE PROFILE Some of the authors of this publication are also working on these related projects: electromagnetic View project Concentrating photovoltaics, New designs and architectures View project All content following this page was uploaded by Z. G. Wu on 26 February 2016. The user has requested enhancement of the downloaded file. 第 22 卷　第 3 期摩擦学学报 22, 　 3 V o l N o 2002 年 5 月 TR IBOLO GY M ay, 2002 两种物理气相沉积氮化钛涂层的结构及摩擦性能研究 1 2 1 1 2 2 2 韩修训 , 阎鹏勋 , 阎逢元 , 刘维民 , 余画洋 , 徐建伟 , 吴志国 ( 1. 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室, 甘肃兰州　730000; 2. 兰州大学等离子体与金属材料研究所, 甘肃兰州　730000) 摘要: 分别利用磁过滤阴极弧等离子体沉积装置和直流磁控溅射装置在不锈钢基底上制备了 T iN