电子显微镜的研究进展.docVIP

中 国 地 质 大 学 研究生课程论文封面 课程名称 现代测试技术 教师姓名 吴秀玲 研究生姓名 武明阳 研究生学号 120130076 研究生专业 材料工程 所在院系 材化学院 类 别: 硕士 日期: 2013年 12 月 26 日 扫描电子显微镜的研究进展 武明阳 (材料工程系 中国地质大学（武汉） 430074) 摘 要：扫描电子显微镜作为一种有效的分析工具，可对多种材料的表面形貌进行观察，使用范围广泛。本文论述了扫描电子显微镜的原理及结构，介绍了样品导电处理的常见方法，简单介绍了SEM在材料研究中的应用。 关 键 词：扫描电子显微镜；制样；材料；应用 中图分类号：TU 443（Times New Roman） 文献标识码：A Research progress of scanning electron microscope Wu Mingyang (Materials Engineering China University of Geosciences(Wuhan) 430074) Abstract: As an effective tool of analysis，scanning electron microscopy was widely used to observe a variety of material surface morphologies. The principle and structure of scanning electron microscope and the common method of conductive treatment for samples were introduced.，introduces the application of SEM in materials research. Key words: scanning electron microscopy; sample preparation；material；application 1 引言 60年代中期扫描电子显微镜( Scanning Electron Microscope，SEM)的出现,使人类观察微小物质的能力有了质的飞跃。相对于光学显微镜,SEM在分辨率、景深及微分析等方面具有巨大优越性,因而发展迅速,应用广泛。作为现代研究分析的一个重要工具，扫描电子显微镜 已被广泛应用于生物、考古、石油探测、化学、医疗、司法和材料学等领域[1-6]。SEM应用广泛，具有以下特点: ( 1) 样品在样品室运动空间大。可在 XYZ 三维空间移动，也可以进行 360°自由旋转，有利于从各个角度观察样品的形貌特征; ( 2) 可观测各种类型材料，使用范围广、操作简单，块材、薄膜、粉体乃至生物高分子稍加处理或不经处理后，均可进行观测; ( 3) 分辨率高、放大倍数大。SEM 最高分辨率达 0.8 nm，可在 5 ～300000 放大倍数下连续可调，远高于光学显微镜的放大倍数; ( 4) 可结合多种探测器，除可观察表面形貌外，还可实现对材料元素、组分及结晶学分析，功能强大; ( 5) 对样品的损伤小、污染轻[7]。 2 SEM的原理与结构 2.1 扫描电子显微镜的工作原理 扫描电子显微镜的原理是利用电子枪采用真空加热钨灯丝,发生热电子束,在0. 5～30 kV的加速电压下,经过电磁透镜所组成的电子光学系统,电子束会聚极细电子束,并在样品表面聚焦。末级透镜上边装有扫描线圈,在它的作用下,电子束打到样品上一点时,在荧光屏上就有一亮点与之对应,其亮度与激发后的电子能量成正比,扫描电子显微镜是采用逐点成像的图像分解法进行的,光点成像的顺序是从左上方开始到右下方,直到最后一行右下方的像元 扫描完毕就算完成一幅图像。 对扫描电子显微镜成像有影响的信号主要有二次电子、背散射电子和X射线谱线等[8]。其中二次电子是样品与初始束电子相互作用而被激发出来的样品原子所含的电子,它们能量很低,只能从样品表面很浅的区域逸出,是扫描电子显微镜检测出的主要信号,图像被称为二次电子图像,具有立体感,成像分辨率最好,准确地反映样品表面的形貌(凹凸)特征;背散射电子是与样品原子核发生弹性碰撞而被散射出样品的电子束电子。这部分电子能量很高,其成像分辨率不高; X射线谱线是当入射电子流轰击到样品表面时,如果能量足够高,样品内部分原子的内层电子会被轰出,使原子处于能级较高的激发态,样品原子各能级间出现电子跃迁