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电子显微镜在金属材料分析测试中的应用 摘要：本文简述了电子显微镜的发展，主要介绍了透射电子显微镜的结构、原理、制样方法及其在铝合金分析和检测中的应用。 关键词：电子显微镜；扫描电镜；透射电镜；能量散射谱 The Applications of Electrical Microscopy on Analysis and Testing of Metal Materials Abstract：In this paper, Briefing the development of the electric microscopy. The structures, principles, samples preparing methods and the application on the analysis and testing for Al alloy of transmission electric microscopy will be mainly introduced. Key words：Electric microscopy; Scanning electric microscopy; Transmission electric microscopy; Energy diffraction spectrum 引 言 材料、信息和能源并列为新世纪科学技术三大支柱，材料更是重中之重。随着科学技术的发展，要得到性能优异的材料，先进的研究手段和测试方法是必需的。随着人们对一些微观尺度效应进行了深入的研究，随之对其分析的工具也提出了更高的要求[1]。 在材料学领域，加工工艺、晶体结构、原子位置和性能特征是材料研究的四大方向，那么材料的微观结构表针也是其中的一个重要分支。在对结构的研究过程中，也涌现出了一系列先进的检测设备，如XRD(X-Ray diffraction)、显微镜分析等。 1 显微镜的发展 1665年Hooke在观察细胞时，发明了第一台光学显微镜。从此，使人类的研究目光到了微观世界。1886年Zeiss打破一般可见光理论上的极限，他的发明--阿比式及其它一系列的镜头将显微学又带入了一个新的天地。1926年Busch发现了旋转对称、不均匀磁场可以作为一个用于聚焦电子束的透镜，为后来的电子显微镜问世打下了坚实的理论基础[2]。六年后，1932年，Knoll和Ruska等首次发表拉了关于电子显微镜的实验和理论研究，并试制成功第一台电磁式电子显微镜，为以后人类开创微观领域科学，提供了有力的实验手段[3]。 扫描电子显微镜(Scanning electron microscope，SEM)。由电子光学系统，信号收集处理、图像显示和记录系统，真空系统三个基本部分组成。其成像原理和透射电子显微镜完全不同。它不用电磁透镜放大成像，而是以类似电视摄影显像的方式，利用细聚焦电子束在样品表面扫描时激发出来的各种物理信号来调制成像的（如图1）[4]。新式扫描电子显微镜的二次电子像分辨率已达3～4nm，放大倍数可从数倍原位放大到20万倍左右。由于扫描电子显微镜的景深比光学显微镜大，因此可以用它进行显微断口分析。用扫描电子显微镜观察断口时，样品不必复制，可直接进行观察，这给分析带来了极大的方便。因此目前显微断口的分析工作大多数都是用扫描电子显微镜来完成的。由于电子枪的效率不断提高，使扫描电子显微镜的样品室增大，可以装入更多的探测器[5]。因此，目前的扫描电子显微镜已不限于分析形貌，而且可以与其他分析仪器相结合，同时进行微区成份和晶体结构等多种微观成份组织结构信息的同位分析。（扫描样品可以和金相显微显微使用同一组样品，故磨制、抛光、腐蚀在此只做简单阐述，详细说明见金相显微样品的制备过程）。 2 透射电子显微镜的原理和构造 2.1 透射电子显微镜结构 透射电子显微镜(TEM: transmission electron microscope)是一种以高能电子束为照明源，通过电磁透镜将穿过样品的电子（即透射电子）聚焦成像的电子光学仪器。电子束照明源和电磁透镜是透射电子显微镜有别于光学显微镜的两个最主要的组分。透射电子显微镜由以下几大部分组成：照明系统，成像光学系统；记录系统；真空系统;电气系统。成像光学系统，又称镜筒，是透射电镜的主体[6]2°～3°范围内倾斜[7]。 成像系统是由物镜、中间镜和投影镜组成。物镜是成像系统的第一级透镜，它的分辨本领决定了透射电子显微镜的分辨率。中间镜和投影镜是将来自物镜给出的样品形貌像或衍射花样进行分级放大。通过成像系统透镜的不同组合可使透射电子显微镜从50倍左右的低倍到一百万倍以上的高倍的放大倍率内变化。 该系统由荧光屏、照相机和数据显示器等组成。投影镜给出的最终像显示在荧光屏上，通过观察窗，我们能观察到荧光屏