用于数字微流体器件的介质上电润湿(EWOD)液滴产生器-SCIENCE.PDF

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2017-08-20 发布于天津
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用于数字微流体器件的介质上电润湿(EWOD)液滴产生器-SCIENCE.PDF

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用于数字微流体器件的介质上电润湿(EWOD)液滴产生器-SCIENCE

E 2006, 36(1): 105~ 112 105 (EWOD)* ( , , 100084) (EWOD) . EWOD . “”: ; (LPCVD) Si3N4 , (ICP-CVD) ; . , . 35V . , , (µTAS)(LOC MEMS , . (). . [1], . , l, (∝l2 ) (∝l3 ) , 2005-01-25 ; 2005-08-08 * (: JC2003060 JC2003061)(: SCIENCE IN CHINA Ser. E Technological Sciences 106 E 36 [2] . , . , [3] [4,5] [6] [7~9] (electrowetting-on-dielectric, EWOD) . EWOD , , , . , [10] [11] [12] [13] . , , EWOD , ,