划片机冷却水罩对划切品质影响的研究.pdfVIP

Ic制造工艺与设备 ■j口蔓曼!笪!舅舅!曼曼曼曼曼曼曼曼团—三昌iI苫—瞥二三蜃盟 !g趔堂三茎皇塑鱼 划片机冷却水罩对划切品质 影响的研究 闰伟文 (北京中电科电子装备有限公司，北京100176) 摘要：系统地介绍了划片机的划切原理、冷却水罩对划切效果的影响、以及对划片机的冷却水罩 对划切品质影响要素进行分析，并通过改进划片机的冷却水罩的结构提高了划片机的划切品质。 关键词：划片机；冷却水罩；划切品质 中图分类号：TN305．1 文献标识码：B Cover The of Saw7S Water OptimizationDesignDicing Cooling 、王KRWeiwen Electronic (CETC EquipmentCO．，LTD，Beijing100176，China) Beijing Abstract：This introducesthe scribeof saw、the onthe papersystematically principle dicmg impact howto the saw’s effect of watercoverand、and dicing dicing by qualitybydicingcooling improves the watercover． cooling improve water Keywords：Dicingsaw；Coolingcover；Dicingquality 划片机是以强力磨削为划切机理，空气静压 土轴高速旋转方向 一一—、▲ 电主轴为执行元件，以每分钟3万到6万的转速 划切晶圆的划切区域，同时承载着晶圆的工作台 以一定的速度沿刀片与晶圆接触点的划切线方向 呈直线运动，将每一个具有独立电气的芯片分裂 Saw)。工 出来。这个过程就是划片或划切(Dicing 作原理如图1所示。 图1原理示惹图 1冷却水罩的作用 刀片与材料的接触处会产生很高的温度，稳定的 由于在划切中主轴高速旋转，在切割材料时， 划切冷却水流量(去离子水)，不仅在划切过程中 收稿日期：2015．08．01 !g型董三茎皇塑鱼蔓星呈蚕釜三』錾耋型垦錾团 起到冷却刀片的作用，还可以防止电击、电弧现象 效的喷洒；同样右侧出水口的角度亦无法调节，难 发生，同时冲掉划切过程中碾碎的碎粒，减少芯片 以适应各种尺寸的刀片，而且固定的角度也不能 表面的碎屑污染，提高划切品质。如果冷却水在划 保证冲洗切割道内碎屑的效果。 切过程中突然减少，或者喷洒不到位就会出现刀 痕突然加深，严重时划伤工作台、刀体打火、刀痕 烧糊、