薄膜物理与技术-1 真空技术基础.pptVIP

* 气体与器壁相互作用 * * * * * 泵的转子和定子全部浸在邮箱中。作为密封、润滑、散热介质，箱内油的作用很重要。 * 扩散泵是利用被抽气体向蒸气流扩散的现象来实现排气的，无转动或压缩部件。3 级喷嘴 扩散泵油被加热后产生大量的油蒸气，油蒸气沿着蒸气导管传输到上部，经伞形喷嘴向外喷出。由于喷嘴外的压强较低，于是蒸气会向下喷射出较长距离，形成一高速定向蒸气流。其射速可达200 m/s甚至2倍于音速以上，且其分压强低于扩散泵进气口上方被抽气体的分压强，两者形成压强差。这样真空室内的气体分子必然会向着压强较低的扩散泵喷口处扩散，跟具有较高动量和能量的超音速蒸气分子碰撞而发生动量和能量交换。气体分子在高速油分子碰撞推动下，被赶向下方，在泵下方形成密集气体分子流，在出口处被前置泵抽走，而从喷嘴射出的油蒸气流喷到水冷的泵壁上被冷凝成液体，流回泵底再被重新加热形成蒸气。 借助油蒸气的功能，使泵内进出气口间形成压强差，出口处气压大于进气口处，气体分子有从出口处向进口处进行反扩散的趋势；但因蒸气流本身形成了阻挡层，减少了气体的扩散效果。当进出口之间反压与油蒸气流的作用平衡时，泵达到了极限真空。 * 涡轮分子泵是为了适应现代真空技术对于无油高真空环境的要求而产生的一种高真空泵。涡轮分子泵是靠对气体分子施加作用力，并使气体分子向特定的方向运动的原理来工作。可以认为是极为精密的电风扇，其作用不单单送风，而是靠高速旋转的叶片对气体分子施加作用力，并使气体分子向特定方向运动而实现高真空。 * 依靠气体分子在低温条件下自发凝结或被其他物质表面吸附实现对气体分子的去除，进而获得高真空的真空泵称为低温吸附泵。 * * * * * * * * * 目前常用获得真空的设备有： 旋转式机械真空泵 油扩散泵 复合分子泵 分子筛吸附泵 钛升华泵 溅射离子泵 低温泵 属于气体传输泵，即通过气体吸入并排出真空泵从而达到排气的目的 属于气体捕获泵，即通过各种吸气材料特有的吸气作用将被抽气体吸除，以达到所需真空。 不需要油作为介质，又称为无油泵 1 真空技术基础 1.3.2 真空的获得 真空的获得：就是所谓的“抽真空”！ ? 利用各种真空泵把容器内的空气抽出，使其内部压强保持在 1 atm的特定压强范围！ 各种真空泵（Pump） 极限真空（极限压强Pu）和抽气速率 ——是表示真空泵性能的两个重要参数。极限压强是该系统所能达到的最低压强；抽气速率是在规定压强下单位时间抽出气体的体积，它决定抽真空所需要的时间。 理论上，一个系统所能达到的真空度： Pu-真空泵的极限真空（Pa）， Q-泵内各种气源（Pa·L/s）， S-泵的抽气速率（L/s）， V-真空室体积（L）， Pi-被抽空间气体的分压强（Pa），t-时间（s） 1 真空技术基础 1.3.2 真空的获得 1.3.2 真空的获得 真空泵的分类及常用工作压强范围 说明：从大气压力开始抽气，没有一种真空泵可以涵盖从1 atm到10-8 Pa的工作范围 ? 真空泵往往需要多种泵组合构成复合抽气系统 ? 实现以更高的抽气效率达到所需的高真空！ 气体输运泵 旋片式机械泵（Rotary Pump） 单级：105~1 Pa 双级：105~10-2 Pa 罗茨泵（Booster Pump / Roots Pump） 103~10-1 Pa 油扩散泵（Diffusion Pump） 1~10-6 Pa 涡轮分子泵（Turbomolecular Pump） 1~10-8 Pa 。。。 气体捕获泵 溅射离子泵（Ion Pump） 10-3~10-11 Pa 钛升华泵（Titanium Sublimation Pump） 10-3~10-11 Pa 低温冷凝泵（Cyro Pump） 10-4~10-11 Pa 吸附泵（Sorption Pump） 102~10-3 Pa 。。。 1 真空技术基础 1.3 真空的获得 1.3 真空的获得－抽真空 泵组合 例如： 油封机械泵＋油扩散泵——10-6~10-8Pa 吸附泵＋溅射离子泵＋钛升华泵——10-6~10-9Pa 机械泵＋复合分子泵——获得超高真空 前级泵 次级泵 泵1 泵2 真空室 真空室 泵1 泵2 并联可以提高抽速 串联可以提高极限真空度 从图表中可以看出，没有一种泵能直接从大气一直工作到超高真空。因此常常将几种泵组合使用，实现预定真空。 1.2 真空的获得 1.2.1 旋片式机械泵（Rotary Pump） （