rf溅射zno薄膜工艺与结构研究 research of deposition condition and structural properties of zno films grown by rf magnetron sputtering.pdfVIP

第 7 期 电 子 元 件 与 材 料 Vol.25 No.7 2006 年 7 月 ELECTRONIC COMPONENTS MATERIALS Jul. 2006 研研 究究 与与 试试 制制 研研 究究 与与 试试 制制 R D RF 溅射 ZnO 薄膜工艺与结构研究 陈 祝 1 张树人 2 杨成韬 2 陈富贵 2 董加和 2 王 升 2 摘要 :RF Si 100 ZnO ZnO RF 300 50 W ψ (Ar:O )20:5 550~600