高精度快速光栅光谱扫描波长定位方法研究 quick and high accuracy wavelength setting method for grating spectrometer.pdfVIP

第37卷第7期 光电工程 、，01．37．No．7 2010年7月 Opto—Electronic July,2010 Engineering 文章编号：1003—501X(2010)07—0086—06 高精度快速光栅光谱扫描波长定位方法研究 黄晋卿，黄梅珍，王 龙，施嫂嫂 (上海交通大学物理系光学工程研究所，上海200240) 摘要：传统光栅扫描式光谱仪器由于机械结构的限制，无法达成高精度扫描和高速扫描的统一。本文针对电机直 接驱动光栅的扫描结构，提出了一种采用激光、位置敏感探测器PSD以及底面为正多边形的棱柱反射扫描镜的全 新主动光电扫描反馈光栅角度位置的结构和方法，目的是在保证快速扫描的同时，利用主动光源经多，面反射镜反 射形成光斑在PSD上的扫描，从而精确传感和反馈光栅的转动来确保波长扫描的精度。系统由步进电机直接带动 光栅快速转动产生扫描光谱，由激光器、PSD和多面反射扫描镜构成主动式光栅角位置反馈系统，对光栅转角进 行高精度快速测定，保证系统的扫描精度和速度，初步实验取得了比较满意的结果。 关键词：光栅扫描光谱；电机直接驱动；波长精度；PSD；正多边形棱柱反射镜 中图分类号：0433．1；TN253 文献标志码：A and QuickHighAccuracyWavelengthSetting Methodfor GratingSpectrometer HUANG Mei-zhen，WANGMan-man Jin-qing，HUANG Long，SHI (Institute 200240，China) ofOpticalEngineering,DepartmentofPhysics，ShanghaiJiaoTongUniversity,Shanghai thestructurelimitoftraditional basedscrewmandreland Abstract：For wavelengthscanningsystemson stepmotor,they cannot workboth and newactive feed--backmeasurement simultaneouslyaccuratelyquickly．A opto··electrical system basedOil sensitivedetectorandmultilateralmirroris inthis The isdriven laser,position pnsm proposedpapergrating by a motor anditsrotational is measured theactive feed-back step directly position accuratelyby opto·electrical measurement ofthenew istomakethe worknot accurate system．Thepurpose strategy wavelengthscanningsystem only butalso resultsaresatisfied． quick．Theelementaryexperimental