光杠杆式nm级微位移激光测量系统的研究 research of a nanometer system for displacement measurement based on optical lever.pdfVIP

下载本文档

13
0
约 5页
2017-08-21 发布于上海
举报
版权申诉

光杠杆式nm级微位移激光测量系统的研究 research of a nanometer system for displacement measurement based on optical lever.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

光杠杆式nm级微位移激光测量系统的研究 research of a nanometer system for displacement measurement based on optical lever

光电子·漱辨 V01．17No．8Aug．2006 第17卷第8期2006年8月 JournalofOptoelectronics·Laser 光杠杆式am级微位移激光测量系统的研究刘晓曼。，吴宇，张攀峰，杨国光 (浙江大学信息科学与工程学院，浙江杭州310027) 摘要：提出了一种全新的am级微位移测量方法，改进了传统光杠杆测微位移的原理，研究开发了一种 am、实测激光微位移测量系统。该方法可以将微位移量放大102量级以上，测量系统的理论分辨率为4 分辨率小于10am，实验验证了该系统的可行性和可靠性。该系统适用范围广、灵敏度高、重复性好和结构简单，便于构成微电机系统(MEMS)，实现系统微型化及自动化。关键词：光杠杆；纳米检测；位置敏感探测器(PSD)；微位移中图分类号：TH744．5文献标识码：A 文章编号：1005—0086(2006)08—0969-05 ResearchofaNanometerfor MeasurementBasedon SystemDisplacement Opti· calLever LIU Xiao—rain’，WUYu，ZHANG Pan—feng，YANGGuo—guang ofInformationScienceand 310027，China) (College Engineering，ZhejiangUniversity，Hangzhou ananometerlaser areintroducedformicro Abstract：Anovel methodand optical system measurement．Themethodisbasedonthe of le- displacement improved principleoptical thismethod，themicro is 102times．Thetheoretical ver．Byusing displacementmagnified ofthis is4 am，andthe islessthen10 practical resolvingpower system resolvingpower am，whichis and the results analyzedtheoreticallyprovedby experiments．Theexperiment showthis is accurateandsensitiveeveninair．Thisautomaticmeasurer that systemhighly canbeusedinIotsofconditionsandbemodifiedintomicro-electromechanicaI system