单晶生长炉全局热分析（1）——三维模型建立.pdfVIP

下载本文档

1
0
约7.79千字
约 3页
2017-08-22 发布于北京
举报
版权申诉

单晶生长炉全局热分析（1）——三维模型建立.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

第29卷第2期工程热物理学报 VO1．29．NO．2 2008年 2月 JOURNAL OF ENGINEERING THERMOPHYSICS Feb．，2008 单晶生长炉全局热分析 (1)一三维模型建立敬成君高辉贾琛霞琢田隆夫2 (1．西南交通大学机械工程学院，四川成都 610031； 2．日本大阪府立大学大学院工学科，大阪 599-8531) 摘要晶体生长炉内高温热辐射和熔液对流十分复杂，使分析整个生长炉内传输现象的全局热分析模型一直停留在轴对称准静态假定上。本文考虑熔液对流的三维性和非定常性，构筑了三维全局热分析模型，讨论了熔液对流三维性和非定常性的影响。结果表明：本文模型预测的晶体成长界面反转临界雷诺数大大降低，更接近实际。关键词全局热分析；熔体对流；内部热辐射；界面反转中图分类号：TK124 文献标识码：A 文章编号：0253-231X(2008)02—0306—03 GLoBAL ANAI SiS OF HEAT TRANSFER IN CZ SINGLE CRYSTAL GRoWTH FURNACE f11：DEVELOPMENT oF UNSTEADY THREE—DIM ENSIoNAL M oDEL JING Cheng—Jun GAO HuiI JIA Chen—XiaI TSUKADA Takao (1．School of Mechanical Engineering，Xinan Jiaotong University,Chengdu 610031，China； 2．Department of Chemical Engineering,Osaka Prefecture University,1-1 Gakuen—Cho，Naka—Ku，Sakai，Osaka 599-8531，Japan) Abstract Thermal radiation and melt convection in CZ single crystal growth furnace are extremely complicated and make the model of global analysis of transport phenomena inside the whole growth furnace have been established on axisymmetrical and pseudo—steady assumptions．In this paper a three． dimensional global analysis of heat transfer by considering unsteady three-dimensional melt flow was developed，and the effect of unsteady three—dimensional melt flow was discussed．The results indicate that the predicted critical rotation Reynolds number at which the crystal／melt interface reverses is greatly lowered down close to the practica1． Key words global analysis of heat transfer；melt convection；internal radiation；interface reversa1． 1引言假定炉内传输现象是轴对称的和定态的，甚至熔体的流动也如此假定。单独考虑熔体热对流问题时，通 Czochralshi(CZ)法是单晶生长的主要方法为常使用三维非定常模型，已有现存的计算程序【引。了单晶高品质化，正确把握生