原子力显微镜阳极氧化加工的机理研究.pdfVIP

2008年1月 机床与液压 Jan．2008 第36卷第1期 MACHINE TOOL HYDRAULICS V01．36 No．1 原子力显微镜阳极氧化加工的机理研究 刘健 (浙江工业职业技术学院，浙江绍兴312000) 摘要：介绍了使用原子力显微镜在电场作用下诱导表面局部阳极氧化反应的机理，分析了偏置电压、氧化物厚度对氧 化物生长速度的影响，以及湿度和电压对氧化物的尺寸的影响，指出了现阶段AFM纳米加工技术的不足，并对未来的 AFM纳米加工技术进行了展望。 关键词：纳米加工；纳米结构；原子力显微镜；阳极氧化 中图分类号：II-I742．9 文献标识码：A 文章编号：1001—3881一(2008)1-020—2 Research of Mechanism of Anodic Oxidation Processing by Atomic Force Microscope LIU Jian (Zhejiang Industry Polytechnic College，Shaoxing Zhejiang 312000,China) Abstract：The mechanism of local anodic oxidation by using an atomic force microscope under electric field was introduced and the effect of bias voltage and thickness of oxide on the growing-speed of the oxide，and the effect of humidity and voltage on the dimen— sion of the oxide were analyzed．The disadvantage of the nano processing technology by AFM Was pointed out．The development of the future nano processing technology by AFM Was suggested． Keywords：Nano processing；Nanostructures；Atomic force microscope；Anodic oxidation | ， 0 弓I言 解液。当施加偏压时，样品表面被局域氧化成lO～ 自从原子力显微镜 (AFM)发明以来 ，一直 100nm的横向尺寸和1～10nm的厚度，氧化物大小依 主要应用于麓寨和检测物体表面的形状、摩擦力、变 赖于样品的材料、探针的形状、暴露的环境 (主要 形、电场力等方面的研究。由于扫描隧道显微镜针尖 是空气湿度)、探针偏压、扫描速度等。 与导电基底与，、 关系非常紧密，在局域氧化过程 该种加工方法里面 中，针尖因经常撞到样品表面的绝缘部分而被损坏。 最重要的仪器就是AFM， 另外，半导体纳米结构作为从经典力学到量子力学的 有必要先了解AFM的结 跨越研究的理想模型，而半导体器件的小型化一直依 构。AFM主要由4个部 赖电子刻蚀技术的发展，因此必须寻找一种替代的纳 分组成：扫描探头、电 米加工方法。目前，AFM广泛地应用于纳米加工和 子控制系统、计算机控 图1 用AFM纳米加 纳米操纵领域，用导电AFM针尖诱导表面阳极氧化 制及软件系统、步进电 工装置示意图 被认为是一种非常有前途的纳米电子器件和纳米机械 机和自动逼近控制电路。