基于光纤光栅的铝合金腐蚀监测研究 corrosion monitoring of the aluminum alloy based on optical fiber grating.pdfVIP

第 39 卷第 5 期 光电工程 Vol.39, No.5 2012 年 5 月 Opto-Electronic Engineering May, 2012 文章编号：1003-501X(2012)05-0013-05 深紫外宽入射角范围增透膜设计与制备 1, 2 1 1 蒲玲琳 ，林大伟 ，李斌成 ( 1. 中国科学院光电技术研究所，成都 610209 ； 2. 中国科学院研究生院，北京 100049 ) 摘要：在大数值孔径深紫外光学系统中，需要使用宽入射角范围的增透膜光学元件。选择 LaF3 和 MgF2 两种镀膜 材料，设计了适用于深紫外宽入射角范围的三层、五层和七层三种增透膜系。实验使用热舟蒸发在熔融石英基底 上镀制了设计的薄膜，并用紫外分光光度计对其光谱性能进行了测试，得到了在宽入射角范围内具有较高透过率 的深紫外增透膜元件。双面镀五层增透膜系的熔石英基片在 0°∼55°入射角内的剩余反射率小于 2.5% ，在 0°∼20° 入射角内的透过率大于 98%。 关键词：深紫外；增透膜；宽入射角范围；剩余反射率 中图分类号：TN23 ；O484.4+1 文献标志码：A doi：10.3969/j.issn.1003-501X.2012.05.003 Deep-ultraviolet Antireflection Coatings for Wide Angle of Incidence Applications 1, 2 1 1 PU Ling-lin ，LIN Da-wei ，LI Bin-cheng ( 1. Institute of Optics and Electronics, Chinese Academy of Sciences, Chengdu 610209, China; 2. Graduate University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China ) Abstract : In a large Numerical Aperture (NA) deep Ultraviolet (DUV) optical system, Antireflection (AR) coated optical components with very wide Angle of Incidence (AOI) are used. By employing LaF /MgF as the material combination, 3 2 we designed three AR thin films that can be used for coating on the wide-angle DUV components with 3-, 5-, and 7-layer structures. Experimentally, we deposited thin films on fused silica substrates by using the thermal boat evaporation,