微机电光学电流传感器的设计 design of optical current sensor based on mems.pdfVIP

第12 期 电 子 元 件 与 材 料 Vol.25 No.12 2006 年12 月 ELECTRONIC COMPONENTS MATERIALS Dec. 2006 研究与试制 R D 微机电光学电流传感器的设计 1,2 1 1,2 1,2 1 赵本刚 ，徐 静 ，高 翔 ，刘玉菲 ，吴亚明 （1. 中科院上海微系统与信息技术研究所 传感技术国家重点实验室，上海 200050；2. 中科院研究生院，北京 100039） 摘要: 提出了一种检测 50 Hz 交流电的微机电光学电流传感器。通过电磁学、微机电与光学方法说明了传感器的 敏感原理与光学转换原理，结合工艺条件给出了器件的设计要求，并利用 matlab 软件模拟分析了传感器的仿真测试结 果。计算表明，器件可以测试 1~7.2 kA 的交流电，大电流下的灵敏度可达到 0.01 dB/A 以上。 关键词: 电子技术；微机电系统；光学电流传感器；扭转微镜；双光纤准直器 中图分类号: TP212 文献标识码:A 文章编号:1001-2028 （2006 ）12-0027-04 Design of Optical Current Sensor Based on MEMS 1,2 1 1,2 1,2 1 ZHAO Ben-gang , XU Jing , GAO Xiang , LIU Yu-fei , WU Ya-ming (1. State Key Laboratories of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 200050, China; 2. Graduate School, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100039, China) Abstract: A MEMS-optical current sensor detecting 50 Hz alternating current was introduced. Theory about sensing and optical transition was explained by method of electromagnetism, micromechanics and optics. The limitation of design was showed based on the fabrication condition. Performance of the sensor was simulated and analyzed by matlab. The results show that 1~7.2 kA alternating current can be detected by the sensor, and the sensitivity at high current can reach more than 0.01 dB/A. Key words: el