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H2及H对CxH1-x薄膜表面状态的影响①
See discussions, stats, and author profiles for this publication at:
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Effect of H2 and H+ on CxH1-X film
surface state
Article · Septe ber 2000
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Jiangshan Luo
China Acade y of Engineering Physics
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第12卷 第5期 强 激 光 与 粒 子 束 . 12, . 5
V ol N o
2000年9月 H IGH POW ER LA SER AND PA R T ICL E BEAM S Sep. , 2000
文章编号: 1001—4322 (2000) 05—0593—04
2 及 + 对 x 1- x 薄膜表面状态的影响①
H H C H
1 1 1 1 1 1
吴卫东 , 罗江山 , 黄 勇 , 张占文 , 许 华 , 郑永铭 ,
1 1 2 2
陆晓明 , 唐永建 , 赵纯培 , 陈 红
( 1. 中国工程物理研究院核物理与化学研究所, 绵阳 919- 987信箱, 621900; 2. 四川大学分析测试中心, 成都 610064)
摘 要: 系统研究了H 流量和H + 原位处理C H 薄膜的时间对C H 薄膜的稳定时间、表面
2 x 1- x x 1- x
悬挂键密度和表面电子局域化程度的影响, 表明 C H 薄膜的长时间H + 原位处理是减小C H 薄膜
x 1- x
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