沉积粒子能量对薄膜早期生长过程的影响.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 5% ! %%! ! ， ， ， 3*1 25% L* 2 ! M-7-FD-0 %%! （ ） !%%%G$(%A%%!A5% ! A##’G%’ B.HB IJKE@.B E@L@.B !%%! .86+ 2 I89N 2 E*7 2 沉积粒子能量对薄膜早期生长过程的影响! ）） ） ） ） ! ! ! ! 陈 敏 魏合林 刘祖黎 姚凯伦 !）（华中科技大学物理系，武汉 #$%%# ） ）（岳阳师范学院物理系，岳阳 #!#%%% ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） %%! # !# %%! ’ ( 利用 （ ）模型研究了能量粒子对薄膜生长的初始阶段岛膜的形貌和岛的尺寸的影响，沉积粒子的 )*+,- ./01* ). 能量范围为：— 在模型中考虑了原子沉积、吸附原子扩散和蒸发等过程，并详细考虑了临近和次临近原子 % % 2-3 2 的影响 结果表明，在所采用的参量范围内不同的基底温度情况下，能量粒子的影响有很大的区别 低基底温度情 2 2 况下，沉积粒子强烈地影响着薄膜的生长过程中，岛膜的形貌、数量和尺寸随能量粒子的能量增加而有很大的变 化2 分析表明，这些变化都是由于能量粒子的介入使得表面吸附粒子的扩散能力增强所致2 关键词：薄膜生长， 方法，扩散 )*+,- ./01* ： ， ， !## ’455 ’4% %555 到!%%?-3 不等，但要注意的是即使离子束的能量有 ! 引 言 这么高，但单个离子在表面上所具有的能量并不高， 只有几个到几十个电子伏特 实际上在离子束辅助 2 随着制膜技术和表面分析技术的发展，近年来 沉积过程中，比较重要的一个参量是离子与沉积粒 ［］ 一系列关于超薄膜或岛状膜材料生长的研究成果已 子到达表面上的速率之比! @AB 4 ，由此可以知道每 有许多报道 实际上这种岛状薄膜是任何薄膜生长 2 个沉积到表面上的粒子从离子束中所获得的能量为 过程必须经历的阶段，因此研究这一过程具有现实