CAS 127.1-2009 洁净室及相关受控环境 第1部分：空气洁净度等级.docx

中国标准化协会标准 CAS STANDARDS OF CHINA ASSOCIATION 127.1-2009/ FOR STANDARDIZATION IS014644-1:1999 洁净室及相关受控环境 第1 部分：空气洁净度等级 Cleanrooms and associated controlled environments — Part 1: Classification of air cleanliness 2009-07-20 发布 索引号 CAS 127.1-2009/1S014644- 1:1999(C) CAS 127.1-2009/1S014644-1:1999 该标准版权为中国标准化协会所有。除了用于国家法律或事先得到 中国标准化协会文字上的许可外，不许以任何形式再复制该标准。 中国标准化协会地址：北京市海淀区增光路33号中国标协写字楼 邮政编码：100037 电话68486206 传真网址： 电子信箱： cas@ 工 Ⅱ CAS 127.1-2009/1S014644-1:1999 前 言 中国标准化协会 (CAS) 是组织开展国内、国际标准化活动的全国性社会团体。制定中国标准化协 会标准(以下简称：中国标协标准),满足企业需要，推动企业标准化工作，这也是中国标准化协会的 工作内容之一。中国境内的团体和个人，均可提出制、修订中国标协标准的建议并参与有关工作。 中国标协标准按《中国标准化协会标准管理办法》进行管理，按CAS 1.1-2001《中国标准化协会 标准结构及编写规则》的规定编制。 中国标协标准草案经向社会公开征求意见，并得到参加审定会议的75%以上的专家、成员的投票 赞同，方可作为中国标协标准予以发布。 使用中国标准化协会标准的单位，应按现行国家有关规定办理标准备案，并对技术内容负责。 本系列标准由中国电子学会洁净技术分会提出。 本系列标准等同采用ISO14644 《洁净室及相关受控环境》。 本系列标准的总标题为《洁净室及相关受控环境》,该系列标准包含以下8个部分： ——第1部分：空气洁净度等级 ——第2部分：证明持续符合CAS127.1 的检测和监测技术条件 ——第3部分：检测方法 -—第4部分：设计、建造、启动 第5部分；运行 ——第6部分：词汇 ——第7部分：隔离装置(洁净空气罩、手套箱、隔离器、微环境) ——第8部分：空气分子污染分级 本部分是系列标准的第1部分。本部分包含附录A、B、C、D、E、F, 其中附录B 和附录C 为规 范性附录，附录 A、D、E、F 为资料性附录。 本部分首次制定。 在本部分实施过程中，如发现需要修改或补充之处，请将意见和有关资料寄给中国标准化协会，以 便修订时参考。 Ⅲ CAS 127.1-2009/1S014644-1:1999 引 言 洁净室及相关受控环境将空气悬浮粒子控制在适当的水平，以便完成对污染敏感的活动。航空航天、 微电子、制药、医疗器械、食品、医疗卫生等行业的产品和工艺受益于对悬浮污染物的控制。 本部分规定的 ISO 等级，可作为洁净室及相关受控环境内空气洁净度的技术条件。这里不仅规定 了测定空气悬浮粒子浓度的规程，也规定了标准的检测方法。 本部分为粒子浓度限值限定了粒径范围。可按本部分提供的标准程式，根据小于或大于等级关注粒 径的空气悬浮粒子浓度，确定洁净度的水平。 本部分是洁净室和污染控制系列标准中的一个。除空气悬浮粒子浓度外，在洁净室和其他受控环境 的设计、技术条件、运行及管理中还有许多因素必须考虑。在 ISO/TC209 技术委员会撰写的这个国际 标准的其他部分中，有这方面的详细内容。 有些场合，有关管理机构可能会规定补充性的政策或限制。遇到这种情况，可能需要对标准检测方 法进行适当调整。 IV CAS 127.1-2009/ISO 14644-1:1999 目 次 1 范围 1 2 定义 1 3 等 级 3 4 等级的证实 4 附录A(资料性附录)洁净度等级表1的图示 6 附录B(规范性附录)采用光散射离散粒子计数器测定粒子洁净度等级 7 附录C(规范性附录)粒子浓度数据的统计处理 10 附录D(资料性附录)分级计算实例 12 附录E(资料性附录)超出分级阈值粒径范围的粒子计径和计数 17 附录F(资料性附录)序贯采样法 19 参考文献 22 图 图A.1 各ISO浓度等级限值图解 6 图F.1 序贯采样法合格与否边界线 19 表 表1