CAS 127.2-2010 洁净室及相关受控环境 第2部分：证明持续符合CAS127.1的检测与监测技术....docx

中国标准化协会标准 CAS STANDARDS OF CHINA ASSOCIATION 127.2-2010/ FOR STANDARDIZATION IS014644-2:1999 洁净室及相关受控环境 第1 部分：证明持续符合 CAS127.1 的检测与监测技术条件 Cleanrooms and associated controlled environments — Part 1: Specifications for testing and monitoring to prove continued compliance with CAS 127.1 2010-12-30 发布 索引号 CAS 127.2-2010/1S014644-2:1999(C) CAS 127.2-2010/1S014644-2:1999 该标准版权为中国标准化协会所有。除了用于国家法律或事先得到 中国标准化协会文字上的许可外，不许以任何形式再复制该标准。 中国标准化协会地址：北京市海淀区增光路33号中国标协写字楼 邮政编码：100037 电话 传真网址： 电子信箱： cas@ Ⅱ CAS 127.2-2010/1S014644-2:1999 前 言 中国标准化协会 (CAS) 是组织开展国内、国际标准化活动的全国性社会团体。制定中国标准化协 会标准(以下简称：中国标协标准),满足企业需要，推动企业标准化工作，这也是中国标准化协会的 工作内容之一。中国境内的团体和个人，均可提出制、修订中国标协标准的建议并参与有关工作。 中国标协标准按《中国标准化协会标准管理办法》进行管理，按CAS1.1—2001 《中国标准化协会 标准结构及编写规则》的规定编制。 中国标协标准草案经向社会公开征求意见，并得到参加审定会议的75%以上的专家、成员的投票 赞同，方可作为中国标协标准予以发布。 使用中国标准化协会标准的单位，应按现行国家有关规定办理标准备案，并对技术内容负责。 本系列标准由中国电子学会洁净技术分会提出。 本系列标准等同采用ISO14644 《洁净室及相关受控环境》。 本系列标准的总标题为《洁净室及相关受控环境》,该系列标准包含以下8个部分： ——第1部分：空气洁净度等级 第2部分；证明持续符合CAS127.1 的检测和监测技术条件 ——第3部分：检测方法 ——第4部分：设计、建造、启动 ——第5部分：运行 -— 第6部分：词汇 ——第7部分：隔离装置(洁净空气罩、手套箱、隔离器、微环境) ——第8部分：空气分子污染分级 本部分是系列标准的第2部分。本部分附录 A、B 均为资料性附录。 本部分首次制定。 本部分使用翻译法等同采用ISO 14644-2;2000《洁净室及相关受控环境第2部分：证明持续符合 ISO 14644-1 的检测和监测技术条件》。 在本部分实施过程中，如发现需要修改或补充之处，请将意见和有关资料寄给中国标准化协会，以 便修订时参考。 Ⅲ CAS 127.2-2010/1S014644-2:1999 引 言 CAS127 的本部分提供了证明洁净室及相关受控环境持续符合CAS 127.1 的方法，并规定了检测与 监测的最低要求。检测计划中还要考虑到具体运行要求，设施的风险评定和设施的使用。 洁净室及相关受控环境将空气中的污染物控制在适当的水平，以完成对污染敏感的作业。产品和工 艺受益于空气污染物控制的领域有：航空航天、微电子、制药、医疗器械、食品、医疗卫生、等行业。 除了空气悬浮粒子浓度之外，洁净室及相关受控环境的设计、技术条件、运行和控制中还要考虑许多其 他因素。 有些场合，有关管理机构可能会规定补充性的政策或限制。遇到这种情况，可能需要对标准检测方 法进行适当调整。 1 CAS 127.2-2010/1S014644-2:1999 洁净室及相关受控环境第1部分： 证明持续符合 CAS 127.1 的检测与监测技术条件 1 范围 CAS 127 的本部分规定了对洁净室或洁净区进行定期检测的要求，以证明其持续符合 CAS 127.1中规定的空气悬浮粒子浓度等级。 这些要求包括CAS127.1 说明的洁净室或洁净区的分级检测。此外，还规定了按本部分要求 实施的其他检测项目。可按用户要求实施的可选检测项目，本部分也做了说明。 本部分还规定了对洁净室或洁净区(以下简称“设施”)进行监测的要求，以提供其持续符合 CAS 127.1 中规定的空气悬浮粒子浓度等级的证据。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用