CAS 127.3-2009 洁净室及相关受控环境 第3部分：检测方法.docx

中 国 标 准 化 协 会 标 准 CAS STANDARDS OF CHINA ASSOCIATION 127.3-2009/ FOR STANDARDIZATION IS014644-3:1999 洁净室及相关受控环境 第3部分：检测方法 Cleanrooms and associated controlled environments — Part 3:Test Methods 2009-07-20 发布 索引号 CAS 127.3-2009/1S014644-3:1999(C-) CAS 127.3-2009/1S014644-3:1999 该标准版权为中国标准化协会所有。除了用于国家法律或事先得到 中国标准化协会文字上的许可外，不许以任何形式再复制该标准。 中国标准化协会地址：北京市海淀区增光路33号中国标协写字楼 邮政编码：100037 电话 传真网址： 电子信箱： cas@ Ⅱ CAS 127.3-2009/1S014644-3:1999 前 言 中国标准化协会 (CAS) 是组织开展国内、国际标准化活动的全国性社会团体。制定中国标准化协 会标准(以下简称：中国标协标准),满足企业需要，推动企业标准化工作，这也是中国标准化协会的 工作内容之一。中国境内的团体和个人，均可提出制、修订中国标协标准的建议并参与有关工作。 中国标协标准按《中国标准化协会标准管理办法》进行管理，按CAS 1.1—2001 《中国标准化协会 标准结构及编写规则》的规定编制。 中国标协标准草案经向社会公开征求意见，并得到参加审定会议的75%以上的专家、成员的投票 赞同，方可作为中国标协标准予以发布。 使用中国标准化协会标准的单位，应按现行国家有关规定办理标准备案，并对技术内容负责。 本系列标准由中国电子学会洁净技术分会提出。 本系列标准等同采用ISO 14644 《洁净室及相关受控环境》。 本系列标准的总标题为《洁净室及相关受控环境》,该系列标准包含以下8个部分： ——第1部分：空气洁净度等级 第2部分：证明持续符合CAS127.1 的检测和监测技术条件 ——第3部分：检测方法 ——第4部分：设计、建造、启动 ——第5部分：运行 --第6部分：词汇 第7部分；隔离装置(洁净空气罩、手套箱、隔离器、微环境) ——第8部分：空气分子污染分级 本部分是系列标准的第3部分。本部分包含附录A、B、C, 全部为资料性附录。 本部分首次制定。 在本部分实施过程中，如发现需要修改或补充之处，请将意见和有关资料寄给中国标准化协会，以 便修订时参考。 Ⅲ CAS 127.3-2009/1S014644-3:1999 引 言 洁净室及相关受控环境将空气污染物控制在合适的水平，以便完成对污染敏感的工作。航天、微电 子、制药、医疗器械、食品、医疗等行业的产品和工艺受益于对空气污染的控制。 本部分给出了对本系列标准其他各部分所介绍并规定的洁净室特征进行检测的方法。 注：本部分并未包括所有洁净室参数的检测规程。涉及特定产品和特定工艺的洁净室和洁净区及相关参数的检测规 程和所用仪器，在 SAC/TC 319编制的其他文件中讨论[例如，对活物质的控制与检测规程 (CAS 128),洁净 室功能性检测 (CAS 127.4—2009)], 隔离装置检测 (CAS 127.7—2009)。 此外，洁净室的检测活动中也可以 考虑采用其他适用标准。 本部分的陈述中参照了美国材料与试验协会 (ASTM), 欧洲标准化委员会 (CEN), 德国标准化 协会 (DIN), 美国环境科学技术学会 (IEST), 日本空气洁净协会 (JACA), 日本工业标准 (JIS) 和 国际半导体制造协会 (SEMI) 等团体编制的标准。 IV CAS 127.3-2009/1S0 14644-3:1999 目 次 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 术语和定义 1 3.1 一般术语 1 3.2 空气悬浮粒子测量 2 3.3 空气过滤器和过滤系统 4 3.4 气 流 5 3.5 静电测量 5 3.6 测量器具和测量条件 6 3.7 占用状态 7 4 检测规程 8 4.1 洁净室检测 8 4.2 原 理 8 5 检测报告 10 附录A(资料性附录)检测项目的选择和实施顺序 11 附录B(资料性附录)检测方法 14 附录C(资料性附录)检测仪器 44