一种气相沉积薄膜tem样品制备技术——改进的可溶盐基片法 a tem sample preparation technique for vapor deposited thin films——improved soluble salt substrate method.pdfVIP

第31卷第1期 电子显微学报 V01．31．No． 2012年2月 ofChineseElectron 2012-02 Journal MicroscopySociety 文章编号：1000-628I(2012)们-00704)4 一种气相沉积薄膜TEM样品制备技术 ——改进的可溶盐基片法 杨铎，董玉军，沈洁，李戈扬’ (上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室，上海200240) 摘要：本文对可溶盐基片方法制备薄膜TEM样品进行了改进、改进后不仅保持丁原可溶盐基片法方便、高艘和 快捷的特点．还可以根据表征需要获得薄膜在不同生长阶段微结构的样品。 关量词：TEM；样品制备；薄膜 21’5 3 中圈分类号：0766；TB383；TGll5文献标识码：A