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多丝切割机加工过程及钢丝振动
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多丝切割机加工过程与钢丝振动
钱宏峰,林财兴,赵懿峰
(上海大学机械工程与自动化学院, 上海 !! )
摘要:本文从振动对多丝切割机切割硅片的质量影响出发,对加工区域内的受力进行了一定的分析,同时基于对系统的分析,采
用’()*+,-. 原则进行系统建模,并且利用有限元方法对系统求解,得出了不同系统参数对系统固有特性的影响。并提出了系统参
数的一般设置,达到了预期的效果。
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