共面式精密花岗岩全气浮XY运动载台之设计与制作.PDFVIP

共面式精密花崗岩全氣浮 XY運動載台之設計與製作 陳建昌 ‧蘇武璋 ／大漢技術學院 機械工程系 副教授 ／比智聖股份有限公司 總經理 精密XY運動載台係精密機械與精密檢測設備常用的關鍵精密組件 。高性能的XY運動載台可 提高設備的精度與減低動力消耗 。本研究以花崗岩為素材 ，利用其耐磨耗且尺寸安定性佳之 特性 ，研發製作一組創新式的XY運動載台 。此一運動載台構造簡單 ，構件關鍵面具有極佳 的幾何精度 ，且所有軸承面均為氣浮軸承面 ，同時在全運動行程中均以單一平面為運動基準 面。因此運動時載台具有絕佳的平面度 ，且磨擦力極微小 ，有利於XY軸的精密定位 。在全球 發展綠能的時代趨勢下 ，此一潔淨 、低能源消耗的全氣浮XY運動載台具備極佳的潛能 ，有機 會成為新ㄧ世代精密工具機與精密檢測設備之XY運動載台 。 關鍵字：精密花崗岩構件、XY運動載台、氣浮軸承 展 發 術 技 1. 前言 速情況下長期操作；9. 空氣軸承運動時幾乎不會 造成溫升，可有效避免熱對機械精度造成之不良 設計製造一精密機械與精密檢測設備時，機 影響；10. 空氣軸承潔淨、低能源消耗等特性。 械設備機台的精度、剛性與穩定性是其中一項重 空氣軸承這些特性對現代機械設計者而言， 要因素，而精密XY運動載台係精密機械與精密檢 都是威力強大的優勢，極適合將此項技術導入精 測設備整體機台中，常用的關鍵精密組件。選用 密XY運動載台設計之中。 適當的載台構件素材與導入氣浮軸承技術，係精 過去常見的XY運動載台之設計大部分是採用 密XY運動載台不可或缺的要素。 兩組線性運動載台相互堆疊的方式組成，這種堆 在材質方面，由於精密運動載台對其構件之 疊型態的XY運動載台，於運動載台偏離下側線性 幾何精度、剛性、防振能力與穩定性等性能要求 載台之軸心線時，會因負載產生的彎曲力矩，造 極高。花崗岩恰具有絕佳之幾何尺寸穩定性不易 成偏置變形，而降低運動載台的精度。為提高XY 變形、熱脹係數與吸水率低不易受環境溫濕度影 運動載台的精度，本研究以花崗岩為素材，設計 響、耐磨性強不易產生刮痕、吸振能力佳、比重 與製作一組創新式的精密XY運動載台。此一精密 低結構輕、低磁性反應及無塑性變形，耐酸鹼及