自动光学检测仪工作台运动控制系统的研究 research on the motion control of stage for automatic optical inspection on pcb.pdfVIP

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2017-08-27 发布于上海
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自动光学检测仪工作台运动控制系统的研究 research on the motion control of stage for automatic optical inspection on pcb

矗l_-m舟t_-I墼墨三匙氮毖趣墼垡壁些堕鲍垦堕业坐璺疃哩堕丛塑堂娅趣查塑童壁查邀自动光学检测仪工作台运动控制系统的研究邴守东。姚立新 (中国电子科技集团公司第四十五研究所，北京东燕郊065201) 摘要：对PCB自动光学检测仪工作台运动控帝1系统进行了研究。通过优化PID参数，加积分校正，建立螺距补偿表的方法，提高了系统的定位精度及动态特性。关键词：速度环；位置环；积分校正；补偿表中图分类号：TN707 文献标识码：A ResearchontheMotionControlof forAutomatic Stage onPCB OpticalInspection BING Shoudong，YAOLixing 45thInsitute East 065201 (The ofCETC，BeijingYanjiao china) controlof onAOI Abstract：The discussesthemotion based system．Theprecision papermainly stage and havebeenadvanced thePID calibration，and dynamicspecialityh byoptimize parameters，integal establish sheetof compenatescrew-pitch． table Keywords：Speedloop；Positionloop；Integralcalibration；Compensation AOIf自动光学检测)技术是当前电子组装生更高的要求，性能优越的工作台系统是设备高效产过程质量检测的主要手段之一，同时AOI技可靠运行的保证。术的应用已经扩展到多个领域。随着PCB微组大行程、高速度、高精度是AOI设备发展对工装技术的发展，布线密度已达到微米级，因而对作台系统提出的要求(速度大于500mm／s，定位精检测的精度提出很高的要求。在PCB基板的自度小于±5斗m)，本文提出了一种基于PMAC控制动光学检测中，对于基板中出现的微小缺陷都必卡的运动控制系统，该系统能够满足AOI设备对须检出。检测精度要求几微米，当前的检测指标工作台系统的要求。对检测系统中的光学系统、机械电子系统提出了工作台系统是检测活动的主要载体，工作时将收稿日期：2009．05，21 作者简介：邮守东(1976一)，男，吉林柳河人，工程师，主要从事半导体专用设备的研究。盟圈圆(总第173期)④ 万方数据电孑工业毫用设吝口奎塑童墅掣鬯型堕堕鲤堂堂些堕堕待检测的PCB基板置于工作台上，通过其运动进术指标。行检测及检修。由于选用线扫描CCD摄像系统，因此对工作台的要求很高。AOI设备因为显微视场和 l 工作台控制系统构建及分析