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第八章 电子光学基础 第一节 电子波与电磁透镜 光学显微镜的局限性 * * 第二篇 材料电子显微分析 第 八 章 电子光学基础 第 九 章 透射电子显微镜 第 十 章 扫描电子显微镜 第十一章 电子探针显微分析 第一节 电子波与电磁透镜 第二节 电磁透镜的像差与分辨率 第三节 电磁透镜的景深和焦长 两个埃利斑 明显可分辨出 两个埃利斑 刚好可分辨出 两个埃利斑 分辨不出 一、光学显微镜的分辨率极限 分辨率是指成像物体(试样)上能分辨出来的两个物点间的最小距离。 最小分辨距离可按瑞利公式进行计算: 式中：λ是照明束波长；α是透镜孔径半角，即透镜孔径角的一半； N 是介质相对折射率；N·sinα或N·A称为数值孔径。 一个世纪以来，人们一直用光学显微镜来揭示金属材料的显微组织，借以弄清楚组织、成分、性能的内在联系。但光学显微镜的分辨本领有限，对诸如合金中的G.P. 区(溶质原子的偏聚区，仅几十?)无能为力。 在物方介质为空气的情况下，任何光学透镜系统的N·A值小于1，所以： 光学显微镜的分辨率取决于照明光源的波长 在可见光波长(400~760nm)范围，光学显微镜分辨率的极限是200nm。 最小分辨距离计算公式: 式中：λ是照明束波长，α是透镜孔径半角，N 是介质相对折射率， N·sinα或N·A称为数值孔径。 对于光学显微镜，N·A的值均小于1，油浸透镜也只有1.5~1.6，而可见光的波长有限，因此，光学显微镜的分辨本领不能再次提高。 提高透镜的分辨本领：增大数值孔径是困难的和有限的，唯有寻找比可见光波长更短的光线才能解决这个问题。 要提高显微镜分辨率，关键是要有 波长短，又能聚焦成像的照明光源。 二、电子波的波长特性 电子的速度与其加速电压有关： h —— Planck 常数，等于6.626×10-34 J ·s; m ——电子质量; v —— 电子速度。 根据德·布罗意物质波的假设，即电子具有微粒性，也具有波动性。所以电子波的波长为： v 越大，λ越小。 0.00087 1000 0.00334 120 0.00487 60 0.00142 500 0.00371 100 0.00601 40 0.00251 200 0.00418 80 0.00859 20 ? / nm U / kV ? / nm U / kV ? / nm U / kV 表8-1 不同加速电压下电子波的波长(经相对论校正) 电子波波长与 加速电压的关系式 h= 6.626×10-34 J ·s e=1.602×10-19 C m =9.1×10-31 kg 改变线圈中的励磁电流可很方便地控制电磁透镜的焦距和放大倍数。 区别于光学玻璃透镜的一个特点： 电磁透镜是变焦距或变倍率的会聚透镜 三、电磁透镜 透射电子显微镜中利用磁场使电子波聚焦成像的装置。 第二节 电磁透镜的像差与分辨率 控制电子束的运动在电子光学领域中主要使用电磁透镜装置。 像差分类 几何像差 色差 球差 像散 一、像差 ：由于透镜磁场几何形状上 的缺陷而造成的像差。 ：由于电子波的波长或能量发生一定幅度的改变 而造成的像差。 电磁透镜也存在缺陷，使得实际分辨距离远小于理论分辨距离，在成像时会产生像差。 （1）衍射效应对分辨本领的影响 由衍射效应所限定的分辨率在理论上可由瑞利公式计算，即： (λ是照明束波长，α是透镜孔径半角，N 是介质相对折射率，N·sinα称为数值孔径。) 若只考虑衍射效应，在照明光源和介质一定的条件下，孔径半角越大，透镜的分辨本领越高！ 二、分辨率 衍射效应 透镜的像差 由于电子透镜只有会聚透镜，没有发散透镜，所以球差?rS是限制透镜分辨率的最主要因素。 光学透镜已经可以采用凸透镜和凹透镜的组合等办法来矫正像差，使之对分辨本领的影响远远小于衍射效应的影响。 （2）像差对分辨本领的影响 球差、像散和色差 通过消像散器来校正 通过稳定加速电压，使用薄试样和小孔径光阑可减小色差。 至今还没有找到一种能矫正球差的办法。所以，像差对电子透镜分辨本领的限制就不容忽略了。 通过减小孔径半角?可使球差?rS变小，但? 减小却使?r0变大，分辨率下降。 可见，关键在于确定最佳的孔径半角?0 ，使衍射效应和球差对分辨率的影响相等，即 ?r0 = ?rS ，求得： 提高电磁透镜分辨率的主要途径是减小电子束波长? (提高加速电压)和减小球差系数。 所以，电磁透镜分辨率为： (A ? 0.4~0.55) 电磁透镜的分辨本领！