tft-lcd生产中毛刷清洗工艺的研究 brush cleaning process analysis in tft-lcd industry.pdfVIP

刘锋等：TFF-LCD生产中毛刷清洗工艺的研究 文章编号：1006-6268(2007)09-0054一03 TFT—LCD生产中毛刷 清洗工艺的研究 刘锋。于凯，李相津，李正赫，李斗熙 (北京京东方光电科技有限公司，北京．100176J 摘 要：以玻璃基板表面残留的各种微粒(Pa—cles)的去除率为依据，研究TFT—LCD生产清洗 工艺中毛刷的旋转方向、旋转速度和毛刷相对玻璃的压入量等因素对玻璃基板表面particles清 洗效果的影响，探讨这些因素的作用机理，为TFT—LCD生产以提供最佳的清洗工艺方法。 关键词：TFT-LCD：清洗：毛刷；Particle去除率 中图分类号：TN949。192文献标识码：A Brush Process inTFT-LCD Cleaning Analysis Industry LIU Dou—xi Feng，YUKai，LIXiang-jin，LIZheng—xun，LI BOE OptoelectronicsTechnologyCo．Ltd．，Beijing，100176) {Beijing tothecalculatedremoval ofthe onthe Abstract：According efficiencyparticlesremaining effectsofthe asrotation substrate，the direction，rotational glass parameters，such velocity andjndentationdistanceofthebrushontheremovalofthe werestudiedinthe particles The mechanismwas andthe tothe paper cleaning analyzed optimaloption cleaning was outIt the inTFT-LCD processpointedhelpsimprovingcleaningefficiency industry． removal Keywords：TFT—LCD；cleaningprocess；brush；particleefficiency 在TFT—LCD生产过程中，清洗的主要目的是去 目前TFT—LCD制程的清洗工艺经常采用的清 rticles【1j。生产过程中的洗方法有超紫外、毛刷滚刷清洗、泡沫喷射清洗以及 除玻璃基板表面残留的pa 纯净水喷射冲洗等12-7]O其中毛刷对于粒径大于 particles种类很多，常见的主要有玻璃碎片、灰尘、 微小有机物、人体毛发或纤维等。如果不能有效地去 3u 玻璃基板表面高速旋转，可以有效去除粘附或者沉 除玻璃基板表面残留的particles，就会产生如金属