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MEMS ——— MEMS ,,100192 :MEMS。 MEMS 。 , φ ;, ,MEMS。 :MEMS;;;; :TH16 ;TP242 DOI:10 .3969/ .issn.1004 -132X.2014 .22 .015 j - SunJianghong YiYuanlin ZhaoQiuling LiuXu BeijingInformationScienceandTechnologyUniversity,Beijing,100192 :Avariablecross-sectionbeamwasusedtoreducestressconcentrationinMEMSstruc‐ ture.Amathematicalmodelofthevariablecross-sectionbeambendingcould rovidereliabletheoretip ‐ calbasistoMEMSdevice rocessing.Asa rerequisitetoincreasetheutilizationofspaceandretainp p maximumangleandmaximumdeflectionunchanged,themaximumangledimensionstiffness and φ themaximumdeflectiondimensionstiffness expressionwereconstructedindividually.Compared withthedimensionstiffnessoftheoriginaldesign arameters,therelationshipamongthedimensionp stiffness,thebeamlengthandtheheightoftheendfacewascreatedclearly,then rovidingatheoretp ‐ icalsupportforthedesignofbeamstructuresinMEMS. :micro-electro mechanicalsystem(MEMS) ;variablecross-sectionbeam; maximum angledimensionstiffness;maximumdeflectiondimensionstiffness;mathematical model 0 1 , , , , , 、RFMEMS 1 MEMS, 1。 ,,, 1 [1-2] [5] 2 。 , 2 。 [3] 、[1] ,MEMS。 MEMS , 。 ,[4] ,、、

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