纳机电压力传感器.doc

课程报告 题目：纳机电加速度传感器 NEMS acceleration transducer 姓名： 学院： 专业：测试计量技术及仪器 学号： 课程老师： 提交时间： 摘要 纳机电系统(NEMS)是基于微机电系统发展起来的新兴技术领域,同时也是纳米技术的重要组成部分，它是指在特征尺寸和效应上具有纳米技术特点的一类超小型机电一体的系统。 本论文首先介绍了国内外纳机电传感器的发展情况，然后根据纳米超晶格薄膜在应力作用下具有力电耦合特性，对一种基于AlAs/InGaAs双势垒共振隧穿薄膜微结构介观压阻效应的新型纳机电加速度传感器进行研究，包括理论分析，结构设计与仿真，工艺设计流程，最后对其外围测试电路进行了设计。 关键词： 纳机电系统，加速度传感器，共振隧穿微结构，介观压阻效应 Abstract Nanoelectromechanical system(NEMS) is a prospective field of technology developed on the basis of micro electromechanical system. It’s also a kind of ultra small mechatronics system that have the characteristics of nanotechnology in the feature size and effect. In this paper,the development of mechanical and electronic sensors are introduced firstly. In the next part, according to the obvious mechanical-electrical coupling effect of resonant tunneling superlattice membrane, a NEMS acceleration sensor has been analyzed in theory, structure designed, simulated by ANSYS and fabricated based on the mesoscopic piezoresistive effects of AlAs/InGaAs double-barrier resonant tunneling membrane structure(RTS). In the last part, the periphery circuit of the NEMS acceleration is designed. Keywords: NEMS, accelerometer, RTS, meso-piezoresistive effect目录 第一章 前言 5 1.1 纳机电系统概述 5 1.2 国内外研究现状 5 第二章 共振隧穿介观压阻式纳机电加速度传感器的原理 12 2.1 介观压阻效应 12 2.2 GaAs基压阻式加速度传感器工作机理 13 第三章 共振隧穿介观压阻式纳机电加速度传感器的结构设计 15 3.1 RTS的结构设计 15 3.2 加速度传感器结构设计 15 3.3 加速度传感器仿真分析 15 3.3.1 加速度传感器静态分析 16 第四章 共振隧穿介观压阻式纳机电加速度传感器工艺设计 20 4.1 工艺设计 20 4.1.1 关键工艺介绍 20 4.2 工艺流程设计 22 4.3 测试电路设计 24 4.3.1 振荡频率测试电路的设计 25 4.3.2 电桥测试电路的设计 25 4.3.3 探针加压实验台设计 26 结论 26 参考文献 28 前言 1.1 纳机电系统概述 微机电系统( MEMS，micro electromechanical system )技术是一种在微电子技术的基础上，融合硅微加工和精密机械加工等多种微加工技术，并应用现代信息技术而构造的微型系统。它是微电子技术的延伸和扩展,不但具有信号处理功能，还可以对外部世界进行感知甚至作用。由于MEMS器件可以将尺寸缩小到1×10-6m～1×10-4m的范围，所以可以实现很多新功能，例如在芯片上处理信号并控制电路、制造大规模多模态整列等等。总之，基于MEMS技术的智能化，高功能密度的新型系统正在对人类的生活生产方式产生革命性的影响[3]。 纳机电系统（nanoelectromechanical system,