典型mems器件结构优化设计平台-轻工机械.pdfVIP

第３０卷 第３期 轻工机械 Ｖｏｌ．３０Ｎｏ．３ 　 ２０１２年６月 　 ＬｉｇｈｔＩｎｄｕｓｔｒｙＭａｃｈｉｎｅｒｙ 　 Ｊｕｎ．２０１２ 　 　［新设备 ·新材料 ·新方法］ ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１００５２８９５．２０１２．０３．０２４ 典典典型型型 ＭＭＭＥＥＥＭＭＭＳＳＳ器器器件件件结结结构构构优优优化化化设设设计计计平平平台台台 １ ２ 善盈盈 ，卢德林 　　 （１．浙江机电职业技术学院机械工程系，浙江杭州　３１００５３；　　 ２．浙江省机械工业情报研究所，浙江杭州　３１００１４）　　 摘　要：设计一种适用于典型ＭＥＭＳ器件结构优化设计的通用平台系统ＭＥＭＳＰｌａｔｆｏｒｍ（简称 ＭＰ）。该平台采用了柔性 模块的设计理念，将整个优化设计过程分解成参数化建模、性能仿真、优化前后处理、优化算法选择与设计、优化结果输 出等５个独立功能单元，解决了典型ＭＥＭＳ器件结构设计中经常出现的实际性能失真、优化计算过程复杂、计算量大等 问题，具有较好的实际应用及再开发价值。图４表２参１６ 关　键　词：ＭＥＭＳ器件；柔性模块；设计平台；结构优化 中图分类号：ＴＰ２１２　　　文献标志码：Ａ　　　文章编号：１００５２８９５（２０１２）０３００８８０５ ＭＥＭＳＰｌａｔｆｏｒｍｆｏｒＳｔｒｕｃｔｕｒａｌＤｅｓｉｇｎａｎｄＯｐｔｉｍｉｚａｔｉｏｎｏｆＭＥＭＳＦａｃｉｌｉｔｉｅｓ １ ２ ＳＨＡＮＹｉｎｇｙｉｎｇ，ＬＵＤｅｌｉｎ （１．ＤｅｐａｒｔｍｅｎｔｏｆＭｅｃｈａｎｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＺｈｅｊｉａｎｇＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＭｅｃｈａｎｉｃａｌａｎｄＥｌｅｃｔｒｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，Ｈａｎｇｚｈｏｕ３１００５１，Ｃｈｉｎａ； ２．ＺｈｅｊｉａｎｇＭａｃｈｉｎｅｒｙＩｎｄｕｓｔｒｙＩｍｆｏｒｍａｔｉｏｎＩｎｓｔｉｔｕｔｅ，Ｈａｎｇｚｈｏｕ，Ｚｈｅｊｉａｎｇ，３１００１４） Ａｂｓｔｒａｃｔ：ＴｈｅｐａｐｅｒｐｒｅｓｅｎｔｅｄａｋｉｎｄｏｆｇｅｎｅｒａｌｐｌａｔｆｏｒｍｓｙｓｔｅｍｓｕｉｔａｂｌｅｆｏｒｔｙｐｉｃａｌＭＥＭＳｄｅｖｉｃｅｓｔｒｕｃｔｕｒｅｏｐｔｉｍｕｍ ｄｅｓｉｇｎＭＥＭＳｐｌａｔｆｏｒｍ（ＭＰｆｏｒｓｈｏｔ）．Ｔｈｉｓｐｌａｔｆｏｒｍａｄｏｐｔｅｄｄｅｓｉｇｎｃｏｎｃｅｐｔｉｏｎｏｆｆｌｅｘｉｂｌｅｍｏｄｕｌｅａｎｄｄｅｃｏｍｐｏｓｅｄ ｗｈｏｌｅｏｐｔｉｍｕｍｄｅｓｉｇｎｉｎｔｏｆｉｖｅｉｎｄｅｐｅｎｄｅｎｔｆｕｎｃｔｉｏｎａｌｕｎｉｔｓｐａｒａｍｅｔｒｉｚａｔｉｏｎｍｏｄｕｌｅ，ｆｕｎｃｔｉｏｎｓｉｍｕｌａｔｉｏｎ，ｏｐｔｉｍａｌｐｒｅ ａｆｔｅｒｔｒｅａｔｍｅｎｔ，ｏｐｔｉｍａｌａｌｇｏｒｉｔｈｍｏｐｔｉｏｎａｎｄｄｅｓｉｇｎ，ｏｕｔｌｅｔｏｆｏｐｔｉｍａｌｒｅｓｕｌｔｓｅｔｃ．，ｔｈｕｓｓｏｌｖｅｄｔｈｅｃｏｍｍｏｎｐｒｏｂｌｅｍｓ ｏｃｃｕｒｒｅｄｉｎｔｙｐｉｃａｌＭＥＭＳｄｅｖｉｃｅｓｔｒｕｃｔｕｒｅｄｅｓｉｇｎ，ｓｕｃｈａｓｒｅａｌｆｕｎｃｔｉｏｎｄｉｓｔｏｒｔｉｏｎ，ｔｏｏｃｏｍｐｌｉｃａｔｅｄｉｎｏｐｔｉｍａｌ ｃａｌｃｕｌａｔｉｏｎ，ｍａｓｓｃａｌｃｕｌａｔｉｏｎｓｅｔｃ．．ＴｈｅＭＰｐｏｓｓｅｓｗｉｔｈｂｅｔｔｅｒｐｒａｃｔｉｃａｌａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎａｎｄｒｅｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔｖａｌｕｅ．［Ｃｈ，４ ｆｉｇ．２ｔａｂ．１６ｒｅｆ．］ Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ＭＥＭＳｄｅｖｉｃｅ；ｆｌｅｘｉｂｌｅｍｏｄｕｌｅ；ｐｌａｔｆ