对He等惰性气体诱导解吸CO过程的理论研究-东南大学学报.PDF

第 卷第 期 ２９ ４ 东 南 大 学 学 报 Ｖｏｌ２９Ｎｏ４ 年 月 １９９９ ７ ＪＯＵＲＮＡＬＯＦＳＯＵＴＨＥＡＳＴＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹ Ｊｕｌｙ１９９９  对 等惰性气体诱导解吸 过程的理论研究 Ｈｅ ＣＯ 张 彤 毛福明 （东南大学电子工程系，南京 ２１００９６） 摘 要 在静态进样的质谱分析中，当惰性气体引入真空系统后，原壁面吸附的ＣＯ 气体被快速解吸出来 极限真空为 的不锈钢真空系统充入 ， 或 后， ． １０Ｐａ ＨｅＮｅ Ａｒ ＣＯ μ 的解吸速度比未充气时提高 倍， 和 的解吸速度更快 本文从吸附的位势理论 ８ Ｈ ＣＨ ． ２ ４ 出发，对 气体的快速解吸过程进行了理论分析，这种诱导解吸作用有可能用于研 ＣＯ 究真空装置内某些吸气体的快速除气，采用预充气法提高充气器件内气体的纯度和 采用热封离法提高真空器件内的真空度等措施均基于这个原理． 关键词 吸附；脱附；位势 分类号 ＴＢ７１ 当惰性气体引入真空系统后，系统壁面原先吸附的 气体被快速地解吸出来 气体 ＣＯ ．ＣＯ 被引入气体快速地解吸的过程，不是惰性气体分子简单地一一占据 气体分子原先的表面 ＣＯ 吸附位，而是使 气体分子在表面的吸附状态发生变化 被吸附于固体内部的气体分子解吸 ＣＯ ． 到真空空间中必须经历以下 个过程：首先是被吸附于固体内部的气体分子克服固体内部势 ２ 垒逃逸到固体表面，并被吸附于固体表面上，然后是被吸附于固体表面的气体分子克服固体表 面势垒解吸到真空空间中 在气体分子解吸的过程中，气体分子在固体表面的吸附层结构对气 ． 体分子的解吸起到非常重要的作用 气体分子在固体表面及固体内部的吸附和解吸过程是一 ． 个动态的过程，吸附和解吸过程的研究对了解固体表面的结构和性质以及提高真空器件内的 真空度等都具有非常重要的意义． １ 实验过程及现象 图 为全不锈钢制成的实验真空系统的原理图 图中， 为四极质谱计；为电离真空计； １ ． Ａ Ｂ 为 型真空计或更换成热偶真空计； ， 为 阀门； 为 阀门； 和 为一大一小 Ｃ Ｕ Ｖ Ｖ １６ Ｖ ５０ Ｖ Ｖ １ ２  ３  ４ ５ 样品进样用的分量阀，作静态进样用；为 的进样铜管道； 为 的小孔