干涉图采样的非线性最小二乘拟合法测量球面曲率半径的研究.docVIP

干涉图采样的非线性最小二乘拟合法测量球面曲率半径的研究 摘要在简单介绍了球面曲率半径测量意义和常用测量方法的基础上，论述了一种基于干涉图样采样的非线性最小二乘拟合理论测量球面曲率半径的算法。进而在阐述干涉显微镜原理的基础上，设计了以干涉显微镜为主体的显微干涉实验装置，拍摄了Askania环形球径仪所配备的标准凸球面样板（曲率半径标称值为9.96 mm）的显微干涉图像。同时，根据上述算法编写了相应的C语言程序，通过对凸球面样板干涉图样的数据采集与处理，得到了被测球面的曲率半径R=10.00 mm。最后对实验误差进行了进一步的分析。9769 关键词曲率半径 最小二乘拟合 干涉显微镜 干涉测量术 毕业设计说明书（论文）外文摘要 TitleResearch on the Measurement of the Spherical Curvature Radius based on Nonlinear Least Square Fitting of Interferogram Sampling Abstract While the significance of spherical curvature radius measurement and some common measurement methods are simply introduced, an algorithm of measuring the spherical curvature radius based on nonlinear least Square Fitting of interferogram sampling is expounded.Based on the principle of interference microscope, an equipment relied on the interference microscope is designed to photograph microscopic interference pattern of a standard convex sphere model(the standard value is 10.00mm) which is assorted with Askania ring -form spherometer.Then the above algorithm is programmed to a software in C programming language.Through collecting data from the interference pattern of convex sphere model and processing data with the software, a measuring result that curvature radius R=10.00 mm comes out.Finally the error gets a further analysis. KeywordsCurvature radiusLeast square fitting ?球径仪法[3]、 这里介绍采用环形(刀口式)球径仪测量凹球面和凸球面曲率半径的方法。测量凹球面时，利用被测球面一部分对应的矢高h、和这部分球面相应的弦半径r来计算曲率半径R。由图1.1可得 凸球面的测量如图1.2所示。图中h和r0可以被测得，利用关系式r2=r02+(r-h)2可得 使用球径仪法测量球面曲率半径，方法直接、操作简单、数据处理快捷，对大口径球面测量具有较高的精确度，但测量小口径球面时误差会增大。 ?自准直显微镜法[4] 以抛光的被测球面作反射镜，当投射到球面上的光线沿球面法线方向入射时，反射光线按原反方向返回，在物体（被照明的分划板）所在平面C上生成自身的清晰像，如图1.3所示。此时，对物镜来说物体（分划板）和被测球面的球心C共轭。如果我们能得到C和A的位置，那么球面的曲率半径R就得到了。A、C的位置，我们可以通过自准球径仪得到，如图1.4所示。当自准显微镜（由7、8、9、11、12、13、14组成）分别调焦于被测球面的球心C和定点A时，人眼通过目镜先后两次看到分辨率板9的图案在分划板11上的自准像，轴向微调自准直显微镜，当分辨率图案像中某一单元线条的对比度为0.03时，人眼刚可以分辨(再继续微调也不能使空间频率更大（更密）的线条被分辨)，此时所确定的自准直显微镜所在位置为定焦位置；先后两次（对C和A）定焦位置之间的距离，就等于被测球面的曲率半径R。测量曲率半径的自准直仪主要有两种，一种是自准直望远镜，可以测量半径达几十米的的凹、凸抛光球面试件；另一种是自准直显微