分子束外延inas量子点的rheed实时原位分析 in-situ diagnosis of inas quantum dots fabricated by mbe using rheed.pdfVIP
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分子束外延inas量子点的rheed实时原位分析 in-situ diagnosis of inas quantum dots fabricated by mbe using rheed
、 、 与
显微测量微细加工技术设备
, ,
Microscope Measurement Microfabrication Equipment
分子束外延 量子点的 实时原位分析
犐狀犃狊 犚犎犈犈犇
李美成王禄熊敏刘景民赵连城
, , , ,
哈尔滨工业大学电力部信息功能材料与器件研究所哈尔滨
( , )
150001
摘要:介绍了利用反射式高能电子衍射( )方法在自组装 量子点制备过程中进行
RHEED InAs
结构分析的理论研究与实验工作的最新进展从反射式高能电子衍射在 量子点临界转变状
。 InAs
态测定量子点表面取向量子点应力分布测定量子点形核长大动力学过程研究等方面的应
、 、 、
用可以看出 在 量子点形成过程中对多种结构特征的原位分析具有突出优势反
, RHEEDInAs 。
射式高能电子衍射仪作为分子束外延系统中的标准配置,已成为一种对 量子点微观结构进
InAs
行分析的简易而理想的分析测试工具。随着反射式高能电子衍射以及衍射理论的进一步发展,必
将促进 量子点结构的精确表征水平的提高进而实现更加理想结构的 量子点的制备
InAs , InAs
及其应用。
: ; ; ; ;
关键词分子束外延 量子点反射式高能电子衍射实时原位微结构分析
InAs
中图分类号 文献标识码 文章编号
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TN405.984O471.1 A 1671-4776200808-0470-06
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